硬件設(shè)備目前國際采用的主流技術(shù)為全固態(tài)光源和中階梯光柵二維分光系統(tǒng)，少部分采用電子管作為功放的射頻光源和一維分光技術(shù)。單道掃描的ICP儀器還有一定的市場占有率和保有量，在特殊行業(yè)（如稀土）具有不可替代的作用。

ICP-OES和ICPMS樣品分析能力不同：
ICP-MS有驚人的能力來分析大量測定痕量元素的樣品，典型的分析時(shí)間為每個(gè)樣品小于5分鐘，在某些分析情況下只需2分鐘。Consulting實(shí)驗(yàn)室認(rèn)為ICP-MS的主要優(yōu)點(diǎn)即是其分析能力。
ICP-OES的分析速度取決于是采用全譜直讀型還是單道掃描型，每個(gè)樣品所需的時(shí)間為2或6分鐘，全譜直讀型較快，一般為2分鐘測定一個(gè)樣品。

線性動(dòng)態(tài)范圍LDR不同：
ICP-MS具有超過105的LDR，各種方法可使其LDR開展至108，但不管如何，對(duì)ICP-MS來說：高基體濃度會(huì)導(dǎo)致許多問題，而這些問題的解決方案是稀釋，正由于這個(gè)原因，ICP-MS應(yīng)用的主要領(lǐng)域在痕量/超痕量分析。
ICP-OES具有105以上的LDR且抗鹽份能力強(qiáng)，可進(jìn)行痕量及主量元素的測定，ICP-OES可測定的濃度高達(dá)百分含量，因此，ICP-OES外加ICP-MS，或GFAAS可以很好地滿足實(shí)驗(yàn)室的需要。

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