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這種情況比較復(fù)雜，因?yàn)橹車鷼怏w介質(zhì)即使稍微漏入真空腔內(nèi)，也會(huì)使其真空度降低。如果漏入了腐蝕性氣體,真空設(shè)備就可能損壞。在很多情況下，真空度和真空空間的潔凈，對(duì)真空條件下進(jìn)行的各種工藝過(guò)程的質(zhì)量有決定性的影響。

真空器件所使用的機(jī)械密封在結(jié)構(gòu)上并無(wú)特殊之處。對(duì)于上述的一種情況，通常是采用氣密性好的金屬波紋營(yíng)型單端面機(jī)械密封。第二種情況則要用雙端面機(jī)械密封，若使用單端面密封，勢(shì)必存在密封端面不能獲得潤(rùn)滑的問(wèn)題。

密封面內(nèi)圓柱面上的傷痕很可能是外面的雜物進(jìn)入密封面或安裝不當(dāng)造成的。密封面上的環(huán)形溝槽，多數(shù)是固體微粒沉積于密封面而引起的。

石墨環(huán)（動(dòng)環(huán)）的裂紋是由于傳動(dòng)件的振動(dòng)，橡膠圈的漲大以及石墨環(huán)本身的內(nèi)應(yīng)力造成的，而結(jié)焦則是因高溫所致，這在煉油廠的高溫?zé)嵊徒橘|(zhì)中是常見的。

1999 年，Burstein和探討了隨機(jī)分布激光加工端面微孔尺寸對(duì)機(jī)械密封承載能力的影響。相比之下，Etsion 對(duì)端面微孔機(jī)械密封的研究更為深入。輔助密封圈(包括動(dòng)環(huán)密封圈和靜環(huán)密封圈)安裝前也需涂一層清潔的機(jī)油或透平油，以保證安裝順利。1999年至2006年期間，Etsion針對(duì)LST-MS提出了一種新的數(shù)學(xué)模型，進(jìn)行了一系列理論及實(shí)驗(yàn)研究，建立靜壓多孔端面干氣密封理論，以一定泄漏量下的承載力為目標(biāo)，對(duì)多孔織構(gòu)參數(shù)進(jìn)行了數(shù)值優(yōu)化。

導(dǎo)致管道離心泵機(jī)械密封損壞的原因主要有以下幾個(gè)方面：

A、臥式離心泵在輸送物料遇冷凝固就會(huì)卡住彈簧，從而導(dǎo)致管道泵的機(jī)械密封的損壞;

B、機(jī)封工作面有固態(tài)顆粒存在;

C、靜環(huán)和動(dòng)環(huán)之間存在固態(tài)酚，導(dǎo)致油膜無(wú)法形成，磨損加?。?

D、單端面還是雙端面么沖洗方法不正確；

E、抽空、氣蝕或較長(zhǎng)時(shí)間憋壓，導(dǎo)致密封破壞；

F、對(duì)離心泵實(shí)際輸出量偏小，大量介質(zhì)泵內(nèi)循環(huán)，熱量積聚，引起介質(zhì)氣化，導(dǎo)致密封失效；