水質(zhì)標準所規(guī)定的各項指標應該根據(jù)電子(微電子)元器件(或材料)的生產(chǎn)工藝而定(如普遍認為造成電路性能破壞的顆粒物質(zhì)的尺寸為其線寬的1/5-1/10)，但由于微電子技術(shù)的復雜性和影響產(chǎn)品質(zhì)量的因素繁多，至今尚無一份由工藝試驗得到的適用于某種電路生產(chǎn)的完整的水質(zhì)標準。不過近年來電子級水標準也在不斷地修訂，而且高純水分析領(lǐng)域的許多突破和發(fā)展，新的儀器和新分析方法的不斷應用都為制水工藝的發(fā)展創(chuàng)造了條件。

去離子水在現(xiàn)代工業(yè)中有著非常廣泛的用途，使用去離子水，是我國很多行業(yè)提高產(chǎn)品質(zhì)量的，趕超世界先進水平的重要手段之一。 由于去離子水中的離子數(shù)可以被人為的控制，物理、化學及病理等指標均得到良好的控制。在工業(yè)生產(chǎn)及實驗室的實驗中，如果涉及到使用水的工藝都被使用了去離子水，那么，許多參數(shù)會更接近設計或理想數(shù)據(jù)，產(chǎn)品質(zhì)量將變得易于控制。

但由于微電子技術(shù)的復雜性和影響產(chǎn)品質(zhì)量的因素繁多，至今尚無一份由工藝試驗得到的適用于某種電路生產(chǎn)的完整的水質(zhì)標準。不過近年來電子級水標準也在不斷地修訂，而且高純水分析領(lǐng)域的許多突破和發(fā)展，新的儀器和新分析方法的不斷應用都為制水工藝的發(fā)展創(chuàng)造了條件。
工業(yè)去離子水繼續(xù)在蒸發(fā)器中盤旋上升，經(jīng)過汽水分離裝置，作為純蒸汽從純蒸汽出口輸出，工業(yè)蒸汽在蒸發(fā)器被原料水吸收熱量后凝結(jié)成工業(yè)蒸汽凝結(jié)水作為預熱器的加熱源，預熱原料水后從預熱器不凝結(jié)水排放出口排出機外，采用高溫高壓操作，確保穩(wěn)定生產(chǎn)無熱原注射用水，所生產(chǎn)的蒸餾水。

工業(yè)去離子水繼續(xù)在蒸發(fā)器中盤旋上升，經(jīng)過汽水分離裝置，作為純蒸汽從純蒸汽出口輸出，工業(yè)蒸汽在蒸發(fā)器被原料水吸收熱量后凝結(jié)成工業(yè)蒸汽凝結(jié)水作為預熱器的加熱源，預熱原料水后從預熱器不凝結(jié)水排放出口排出機外，采用高溫高壓操作，確保穩(wěn)定生產(chǎn)無熱原注射用水，所生產(chǎn)的蒸餾水。冷卻水開啟，低于90℃時，冷卻水關(guān)閉，使出水溫度自動穩(wěn)定