Nidek 晶片平坦度/翹曲度測量儀FT-17和FT-900(Si/Ge/GaAs/InP/SiC/LT/LN)

 Nidek高精密平面度檢測儀, 適用于透明晶體物體（如藍(lán)寶石晶片等）和LED外延晶片、芯片的檢測。

其應(yīng)用不僅局限于對(duì)藍(lán)寶石襯底單面/雙面的表面平坦檢測，而且更多地應(yīng)用于對(duì)外延之后，外延層表面品質(zhì)、TTV等的檢測和評(píng)估。

在電腦顯示屏上，它可自動(dòng)生成三維立體的表面彩色效果圖，以幫助人們清楚細(xì)微地、直觀地了解和掌握對(duì)象物表面層生長的情況。

此外，它也適用于液晶電視屏幕面板所需要的大而平的圖形掩膜的檢測。

Nidek高精密平面度檢測儀, 適用于透明晶體物體（如藍(lán)寶石晶片等）和LED外延晶片、芯片的檢測。

其應(yīng)用不僅局限于對(duì)藍(lán)寶石襯底單面/雙面的表面平坦檢測，而且更多地應(yīng)用于對(duì)外延之后，外延層表面品質(zhì)、TTV等的檢測和評(píng)估。

在電

測試項(xiàng)腦顯示屏上，它可自動(dòng)生成三維立體的表面彩色效果圖，以幫助人們清楚細(xì)微地、直觀地了解和掌握對(duì)象物表面層生長的情況。

該產(chǎn)品目前已在國內(nèi)大手廠商中廣泛采用，特別是在外延片的品質(zhì)檢測方面。頗受好評(píng)。

據(jù)不完全統(tǒng)計(jì)，至2012年底該產(chǎn)品已被國內(nèi)LED襯底和外延片80多家廠家所使用。

吸附：GFLR、GF3D、GF3R、TV、GBIR、TAPER、TAng、SFLR、SFLD、SFQR、SF3R、SF3D、SBIR、SBID

非吸附：BOW、SORI、整體應(yīng)力、局部應(yīng)力

可測試晶片種類

切割片、研磨片、拋光片、外延片、磊晶片

可選配光刻區(qū)域模擬軟件、應(yīng)力分析軟件等