英國密析爾Pura高純氣露點(diǎn)變送器

在很多超純氣應(yīng)用，諸如半導(dǎo)體工業(yè)中，氣體中殘余的濕氣對于過程處理的正常運(yùn)作至關(guān)重要。一直以來，對濕氣的持續(xù)追蹤測量都是個(gè)難點(diǎn)，需要用到復(fù)雜的濕度分析儀或者昂貴的分析技術(shù)。

Pura 變送器是基于密析爾儀表多年在阻抗露點(diǎn)傳感器生產(chǎn)和校驗(yàn)的經(jīng)驗(yàn)，結(jié)合標(biāo)準(zhǔn)工業(yè)化的材料和制造流程，打造出的個(gè)適用于半導(dǎo)體制造行業(yè)和超純氣體應(yīng)用的位變送器。

亮點(diǎn)

測量下限 -120°C 露點(diǎn) (1 ppbV)

測量穩(wěn)定，重復(fù)性好

高度集成的采樣裝置

模擬和數(shù)字輸出

安裝簡便

VCR 過程接口

設(shè)計(jì)緊湊小巧

顯示/報(bào)警單元可選

傳感器
傳感器類型	密析爾陶瓷濕度傳感器
量程	-120 ~ -40°C 露點(diǎn) (校驗(yàn)到 -100 ~ -40°C)
精度	±1°C -40 ~ -60°C; ±2°C -61 ~ -100°C; ±4°C -101 ~ -120°C (估算值)
分辨率	0.1°C -40 ~ -79.9°C; 1°C -80 ~ -100°C; 1 ~ 3°C -100 ~ -120°C
壓力	低 10-9 torr; 24 MPa
氣體流量	1 ~ 5 Nl/min
電氣
電源	通常 24 V DC, 低10 V ~ 28 V , 電流 25 mA
輸出	4-20 mA 輸出, 對應(yīng)范圍可由專用軟件調(diào)整, 調(diào)整量程從 1 ~ 80°C (標(biāo)配提供) 負(fù)載 = 100 Ω + 50 Ω x (V 電源 -8)
輸出出錯(cuò)狀態(tài)	標(biāo)準(zhǔn)輸出出錯(cuò)信息如下: 23 mA = 傳感器故障; 20 mA = 超上限; 4 mA = 超下限
機(jī)械性能
傳感器套筒	不銹鋼, 0.1-0.2 Ra μm 電鍍內(nèi)拋
氣路連接端口	Premium 或 OEM 型: ?" m VCR 接口 Pura Sensor 型: ?" m VCR 接口
安裝配置	Premium 或 OEM 型: 120.00mm 長, 氣路端口的端面密封. 無需預(yù)留管路空隙 底座上有 2 個(gè) M4 x 0.7, 7mm 深的安裝孔, 斜對面橫豎間距均為 20 x 20mm Pura Sensor 型: 適用于用戶提供的 ?" VCR 端口中
尺寸	Premium 或 OEM 型: 120 x 35 x 150mm Pura Sensor 型: 132 x 35mm
重量	Premium 或 OEM 型: 450g Pura Sensor 型: 180g
包裝	Pura: 雙層包裝, 惰性氣體填充密封 Pura OEM 或 Pura Sensor 型: 單層包裝 所有選配件: 獨(dú)立包裝運(yùn)輸 Sensor 型在傳感芯片端自帶保護(hù)套,用以運(yùn)輸及操作

在氣體和液體中，測量露點(diǎn)、水分含量和微水含量一系列密析爾探頭。范圍從極干的環(huán)境下 (-120°Cdp) 到高濕度環(huán)境下測量，露點(diǎn)達(dá)到+60°C，我們的探頭可在多種領(lǐng)域中應(yīng)用，進(jìn)行可靠的測量。我們的本安型和隔爆/防火型傳感器適用于全球多種危險(xiǎn)場合。

密析爾儀表在設(shè)計(jì)、制造，校驗(yàn)濕度傳感器方面有超過40年的經(jīng)驗(yàn)，擁有一系列的技術(shù)。我們不斷投資研究項(xiàng)目，以便提高我們濕度傳感器的技術(shù)。其中包括一系列廣泛使用，經(jīng)過現(xiàn)場驗(yàn)證的露點(diǎn)傳感器。