熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)是利用熱擴(kuò)散原理測量氣體流量的儀表。傳感器由兩個(gè)基準(zhǔn)級(jí)熱電阻(RTD)組成。一個(gè)是速度傳感器RH，一個(gè)是測量氣體溫度變化的溫度傳感器RMG。當(dāng)這兩個(gè)RTD置于被測氣體中時(shí)，其中傳感器RH被加熱，另一個(gè)傳感器RMG用于感應(yīng)被測氣體溫度。隨著氣體流速的增加，氣流帶走更多熱量，傳感器RH的溫度下降。

熱式質(zhì)量流量計(jì)用途

1、鋼鐵廠，焦化廠煤氣流量測量;

2、鍋爐空氣流量，測量二次風(fēng)量;

3、煙囪排出的煙氣流量測量;

4、水處理中瀑氣流量測量;

5、水泥，卷煙，玻璃廠生產(chǎn)過程中氣體流量測量;

6、壓縮空氣流量測量;

7、天然氣，煤氣，液化氣，火炬氣，氫氣等氣體流量測量。

熱式質(zhì)量流量計(jì)基本原理：

通過測量氣體流經(jīng)流量計(jì)內(nèi)加熱元件時(shí)的冷卻效應(yīng)來計(jì)量氣體流量的。氣體通過的測量段內(nèi)有兩個(gè)熱阻元件，其中一個(gè)作為溫度檢測，另一個(gè)作為加熱器。溫度傳感元件用于檢測氣體溫度，加熱器則通過改變電流來保持其溫度與被測氣體的溫度之間有一個(gè)恒定的溫度差。當(dāng)氣體流速增加，冷卻效應(yīng)越大，使須保持熱電阻間恒溫的電流也越大。此熱傳遞正比于氣體質(zhì)量流量，即供給電流與氣體質(zhì)量流量有一對(duì)應(yīng)的函數(shù)關(guān)系來反映氣體的流量。

熱式質(zhì)量流量計(jì)(Thermal Mass Flowmeters，簡稱TMF)在國內(nèi)習(xí)稱量熱式流量計(jì)，是利用流體流過外熱源加熱的管道時(shí)產(chǎn)生的溫度場變化來測量流體質(zhì)量流量，或利用加熱流體時(shí)流體溫度上升某一值所需的能量與流體質(zhì)量之間的關(guān)系來測量流體質(zhì)量流量的一種流量儀表。一般用來測量氣體的質(zhì)量流量。具有壓損低;流量范圍度大;高精度、高重復(fù)性和高可靠性；無可動(dòng)部件以及可用于低氣體流量監(jiān)測和控制等特點(diǎn)，利用加熱流體的熱量(或溫度)變化測量流體的質(zhì)量流量已有很長的歷史。早期的TMF直接將加熱線圈和測溫元件放入流體中與流體直接接觸，是一種接觸式流量計(jì)，由于不能解決嘴蝕和磨損以及防爆等問題，使它的工業(yè)應(yīng)用受很大的限制。托馬斯流量計(jì)是這種流量計(jì)的代表，主要用來測量較大流量的氣體質(zhì)量流量;到20世紀(jì)50年代，人們提出了一種與流體不接觸的邊界層流量計(jì)，克服了接觸式流量計(jì)的缺點(diǎn)，但測量結(jié)果易受介質(zhì)參數(shù)(如導(dǎo)熱系數(shù)、比熱容、粘度等)的影響，可以用來測量較大的液體流量;到70年代，基于測量流體溫度分布的熱分布型TMF，由于其特的優(yōu)點(diǎn)在國內(nèi)外得到了很快的發(fā)展，用來測量氣體的微小流量，隨著科技的發(fā)展，經(jīng)過對(duì)流量計(jì)結(jié)構(gòu)上的重新設(shè)計(jì)，在接觸式流量計(jì)的基礎(chǔ)上，人們提出了一種浸入型的TMF，也得到了很快的發(fā)展，可以用來測量較大管徑的氣體流量。

熱式質(zhì)量流量計(jì)根據(jù)熱源及測溫方式的不同可分為接觸式和非接觸式兩種。

1、接觸式熱式質(zhì)量流量計(jì)

這種質(zhì)量流量計(jì)的加熱元件和測溫元件都置于被測流體的管道內(nèi)，與流體直接接觸，常被稱為托馬斯流量計(jì)，適于測量氣體的較大質(zhì)量流量. 由于加熱及測量元件與被測流體直接接觸，因此元件易受流體腐蝕和磨損，影響儀表的測量靈敏度和使用壽命。測量高流速、有腐蝕性的流體時(shí)不宜選用，這是接觸式的缺點(diǎn)。

2、非接觸式熱式質(zhì)量流量計(jì)

這種流量計(jì)的加熱及測溫元件都置于流體管道外，與被測流體不直接接觸，克服了接觸式的缺點(diǎn)。

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