平面刻劃光柵

衍射光柵可將復(fù)色光（白光）分離成各種組分（通過(guò)衍射效應(yīng)）。各種光柵是由高精度的母光柵進(jìn)行多次復(fù)制而成。光柵復(fù)制過(guò)程見(jiàn)如下描述。

高品質(zhì)儀器級(jí)別的光柵可近乎滿足所有的衍射需求，特別是在效率要求比較高的時(shí)候?？梢愿鶕?jù)尺寸，紋槽間距以及閃耀波長(zhǎng)來(lái)選擇光柵。理論分辨率與母光柵的每毫米槽紋數(shù)成比例，閃耀角和光柵間距決定了特種波長(zhǎng)和光譜區(qū)域的最大效率。

衍射光柵尺可用在各種單色光的研究、教學(xué)、以及工業(yè)場(chǎng)合，幾乎所有的商用分光光度計(jì)（紫外光、可見(jiàn)光、紅外光、熒光、拉曼光、原子吸收等）都使用衍射光柵來(lái)選擇特殊的波長(zhǎng)或掃描整個(gè)波長(zhǎng)區(qū)域。對(duì)于一個(gè)普通的光柵尺，通常在峰值效率時(shí)復(fù)制光柵。復(fù)制全息光柵時(shí)需要將雜散光調(diào)整到最小，且需要高分辨率的母尺。注意：光柵尺和全息光柵尺的損壞閾制在脈沖激光下為350mj/cm2，在連續(xù)激光模式下為40 Watts/cm2。

刻線式衍射光柵是在一個(gè)鍍了鋁膜的光學(xué)基板上刻有一系列密集的、間距線寬相等的平行直線，通常叫做“主尺”。采用高精密的干涉測(cè)量驅(qū)動(dòng)器控制一個(gè)鉆石刀來(lái)按照設(shè)定的間距和角度進(jìn)行刻劃，形成鋸齒狀的槽紋（通常稱為閃耀角）。復(fù)制時(shí)首先在母版上真空沉積一層很薄的膜層，然后在分離層上鍍一層鋁膜，再在頂層鍍上一層環(huán)氧層，復(fù)制刻槽表面，復(fù)制的光柵從主光柵上分離出來(lái)后，這個(gè)化合的過(guò)程便隨著分離過(guò)程的結(jié)束而結(jié)束了。