一、結(jié)構(gòu)特征

    M3手持式四探針測(cè)試儀主機(jī)             配ST2253-F01鎢針探頭測(cè)試硅片           配ST2558B-F01薄膜探頭測(cè)試ITO膜

二、概述

2.1基本功能和依據(jù)標(biāo)準(zhǔn)：

   M3手持式四探針測(cè)試儀是運(yùn)用四探針測(cè)量原理測(cè)試材料電阻率/方塊電阻的多用途、高性價(jià)比測(cè)量?jī)x器。該儀器設(shè)計(jì)符合GB/T 1551-2009 《硅單晶電阻率測(cè)定方法》、GB/T 1552-1995《硅、鍺單晶電阻率測(cè)定直流四探針法》等國(guó)標(biāo)并參考美國(guó)A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)。

    2.2配套組成：標(biāo)準(zhǔn)配置由M-3型主機(jī)、選配的四探針探頭等二部分組成，也可加配測(cè)試臺(tái)當(dāng)臺(tái)式機(jī)使用。

2.3優(yōu)勢(shì)特征：

   1美觀適用：彩色流線型手持式面板、帶防滑墊，符合人體工程學(xué)設(shè)計(jì)。適合手持式變動(dòng)場(chǎng)合操作使用，也可以定制小型旅行手提箱包裝，便于野外或旅行使用。

   2高精度：M3手持式四探針方阻儀，帶完善厚度、形狀修正功能，所以測(cè)試精準(zhǔn)。同行中手持式多為簡(jiǎn)易程序，沒有完整修正功能，所以無法修正厚度、形狀修誤差。

   3寬量程：超寬五個(gè)檔位，相當(dāng)于中檔臺(tái)式機(jī)的量程，同行中手持式多為兩到三個(gè)檔位，測(cè)試范圍有限，適應(yīng)性不廣。

   4操作簡(jiǎn)便、性能穩(wěn)定：輕觸數(shù)字化鍵盤實(shí)現(xiàn)參數(shù)設(shè)定、功能轉(zhuǎn)換，簡(jiǎn)便而且免除模擬定位器的不穩(wěn)定易受干擾。

   5手動(dòng)/自動(dòng)一體化：

   6顯示方式美觀清晰：由高亮綠色數(shù)碼和ＬＥＤ數(shù)字表頭顯示，不怕環(huán)境背景暗或野外強(qiáng)光；

   7待機(jī)和工作時(shí)間長(zhǎng)（不小于兩天），有大容量可充電鋰電池電池供電，環(huán)保耐用。

2.4探頭選配：

根據(jù)不同材料特性需要，探頭可有多款選配。詳情見《四探針探頭型號(hào)規(guī)格特征選型參照表》

1配高耐磨的碳化鎢探針探頭，如ST2253-F01型，以測(cè)試硅等半導(dǎo)體、金屬、導(dǎo)電塑料類等硬質(zhì)材料的電阻率/方阻；

2配不傷膜的球形或平頭鍍金銅合金探針探頭，如ST2558B-F01型，可測(cè)金屬箔、碳紙等導(dǎo)電薄膜，也可測(cè)陶瓷、玻璃或PE膜等基底上導(dǎo)電涂層膜，如金屬鍍膜、噴涂膜、ITO膜、電容卷積膜等材料的薄膜涂層電阻率/方阻。

3配專用箔上涂層探頭，如ST2558B-F02型，也可測(cè)試鋰電池電池極片等箔上涂層電阻率/方阻。

4換上四端子測(cè)試夾具，還可對(duì)電阻器的體電阻進(jìn)行測(cè)量。

2.5測(cè)試臺(tái)選配：

   根據(jù)不同材料特性需要，測(cè)試臺(tái)可有多款選配。詳情見《四探針測(cè)試臺(tái)型號(hào)規(guī)格特征選型參照表》

四探針法測(cè)試固體或薄膜材料選配SZT-A型或SZT-B型（電動(dòng)）或SZT-C型（快速恒壓）測(cè)試臺(tái)。

二探針法測(cè)試細(xì)長(zhǎng)棒類材料選配SZT-K型測(cè)試臺(tái).

平行四刀法測(cè)試橡塑材料選配SZT-G型測(cè)試臺(tái)。

2.6適用范圍：

  手持式使用，儀器適用于半導(dǎo)體材料廠器件廠、科研單位、高等院校四探針法對(duì)導(dǎo)體、半導(dǎo)體、類半導(dǎo)體材料的導(dǎo)電性能的測(cè)試。

三、基本技術(shù)參數(shù)

1. 測(cè)量范圍、分辨率

電   阻：    0.010Ω ～50.00kΩ,     分辨率0.001Ω ～10 Ω

電阻率：    0.010Ω-cm～ 20.00kΩ-cm， 分辨率0.001Ω ～10 Ω-cm

方塊電阻：    0.050Ω/□ ～ 100.00kΩ/□   分辨率0.001Ω ～10 Ω/□

2. 可測(cè)材料尺寸

手持方式不限材料尺寸，但加配測(cè)試臺(tái)則由選配測(cè)試臺(tái)決定如下：

直   徑：SZT-A圓測(cè)試臺(tái)直接測(cè)試方式 Φ15～130mm。

SZT-C方測(cè)試臺(tái)直接測(cè)試方式180mm×180mm。

長(zhǎng)(高)度：測(cè)試臺(tái)直接測(cè)試方式 H≤100mm。.

測(cè)量方位: 軸向、徑向均可.

3. 量程劃分及誤差等級(jí)（括號(hào)內(nèi)為拓展量程）

4充電器工作電源：220V±10％, f=50Hz±4％,P_W≤5W，或電池供電DC3.7V.

5外形尺寸：W×H×L=10cm×3.6cm×21cm

                       凈  重：≤0.3kg