福樂(lè)Fluoro真空泵FV-60-110-內(nèi)置HEPA過(guò)濾器的無(wú)油隔膜裝置
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钳钻钳钳钻钵钺钴钷钹钸
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所在地區(qū)
廣東省深圳市
日本福樂(lè)Fluoro
內(nèi)置HEPA過(guò)濾器的無(wú)油隔膜真空泵
FV-30
FV-60
內(nèi)置進(jìn)氣及排氣用HEPA過(guò)濾器*
篩選器窗口**
無(wú)塵室用無(wú)油
長(zhǎng)期可靠性
安靜的駕駛聲
用于靜電對(duì)策的尼龍制主體
緊湊設(shè)計(jì)
ESD對(duì)策用導(dǎo)電性管(可選)
接地套件(可選)
HEPA過(guò)濾器套件(更換部件)
符合CE標(biāo)準(zhǔn)
*HEPA濾鏡捕獲高達(dá)0.3微米的99.97%粒子
**知道HEPA過(guò)濾器更換時(shí)間
製品 | FV-30-110 | FV-60-110 |
---|---|---|
流量 | 2.5 l/min (0.088 cfm) | 2.5 l/min (0.088 cfm) |
到達(dá)真空?qǐng)R | -300 mmHg (-40 kPa) | -600 mmHg (-80 kPa) |
電源 | 100-120 VAC | 100-120 VAC |
消費(fèi)電力 | 5.0 W | 10.0 W |
サイズ(D x W x H) | 137 x 88 x 85 mm | 137 x 88 x 133 mm |
重さ | 800 g | 1250 g |
耐久性 | 連続 | 連続 |
壽命 | > 8760 時(shí)間 | > 8760 時(shí)間 |
ウェハーサイズ | 6インチまで | 8及び12インチ |
240VAC仕様もあります (FV-30-240, FV-60-240)