美國SONIX-超聲波掃描顯微鏡-ECHO-LS-半導體集成電路封裝測試
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美國SONIX 超聲波掃描顯微鏡 ECHO-LS
SONIX 公司是世界500強丹納赫集團(NYSE: DHR)下的全資子公司,是全球超聲波掃描檢測儀和無損檢測設備的制造商。 自1986年成立以來,SONIX 在無損檢測領域中不斷改革創(chuàng)新,是一家基于微機平臺,提供全數字化成像方案的公司。 SONIX 一直致力于技術革新,提供給客戶的聲學檢測技術。 SONIX 設備被廣泛應用于各種材料的無損檢測,包括半導體,汽車零件等等。
其主要工作原理是,通過壓電陶瓷將電信號轉換成超聲波(>20KHz),用超聲波對樣品內部進行高精度地掃描,根據超聲波在不同密度材料中的傳播速度和反射系數的差異,獲得樣品內部不同區(qū)域的超聲波透射或反射,再經由軟件算法處理和成像。SAM的核心構成為,電氣部件、機械裝置、聲學部件、軟件系統(tǒng)。
SONIX ECHO VS? 是專為更高精度要求,更復雜元器件設計的新一代設備。
廣泛應用在 Flip chips,Stacked die,Bumped die,Bonded wafers 等。
美國SONIX 超聲波掃描顯微鏡 ECHO-LS
● 高分辨率下,掃描速度是傳統(tǒng)超聲波掃描顯微鏡的2.5倍
● 波形模擬器(Waveform Simulator)及波束仿真(Beam Emulator)
● 掃描分辨率小于1微米
● 水溫控制系統(tǒng)及紫外殺菌系統(tǒng)超高頻狀態(tài)工作下,信號更穩(wěn)定