三靶離子濺射儀SD-2000Ⅲ是一款可同時安裝三個靶材的離子濺射儀。應(yīng)用于需要做復(fù)合膜的情況下。靶頭和樣品臺聯(lián)合工作，哪個靶頭處于工作狀態(tài)，樣品臺會自動旋轉(zhuǎn)到該把頭下。避免了想做復(fù)合膜時更換靶材和放氣的問題。