意大利BDiscom等離子矩陣Plasma Matrix Plus

等離子矩陣和超級(jí)等離子矩陣

價(jià)格競(jìng)爭(zhēng)力的臺(tái)式 RF 13.56 MHz 等離子反應(yīng)器系統(tǒng)系列，適用于研發(fā)或小型工業(yè)試生產(chǎn)中的大部分清潔/蝕刻工藝（2.5 至 40 升 SS 304 真空室）

Plasma Matrix 和 Super Plasma Matrix 臺(tái)式等離子反應(yīng)器旨在滿足大部分等離子清潔、蝕刻和表面活化的研發(fā)和工業(yè)應(yīng)用，其中初始機(jī)器投資必須保持在非常低的水平。

意大利BDiscom等離子矩陣Plasma Matrix Plus

工具軟件的簡(jiǎn)單和友好的使用（通過(guò) LCD 觸摸屏顯示器）以及 Matrix 系列的 SS 真空室的優(yōu)化設(shè)計(jì)，使它們處于當(dāng)今市場(chǎng)提供的水平。

Bdiscom Matrix 等離子反應(yīng)器系列包括根據(jù)不同研發(fā)和工業(yè)應(yīng)用的要求保持等離子工藝穩(wěn)定和可重復(fù)所需的所有功能。

目前有兩個(gè)版本的 Plasma Matrix：

- Plasma Matrix Plus  配備 2.5 升 SS 真空處理室、兩個(gè)進(jìn)氣口和手動(dòng)感應(yīng)手動(dòng)加工網(wǎng)絡(luò)，配備高達(dá) 200 瓦 RF @ 13.56 MHz 發(fā)生器

- Super Plasma Matrix配備 40 升 SS 真空處理室、兩個(gè)進(jìn)氣口和一個(gè)全電容式自動(dòng)阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)，配備高達(dá) 300 瓦 RF @ 13.56 MHz 發(fā)生器。