意大利BDiscom中頻電源BDS.MF10kW貨號1305.C.50037

適用于任何高/低壓（3kV 至 7kV）PECVD 和 PVD ??工藝的且具價格競爭力的中頻發(fā)生器

BDS-MF 5 - 10 - 15 kW @ 40kHz，高|低壓交流等離子發(fā)生器

BDS-MF 是一款 40 kHz 等離子發(fā)生器，輸出功率為 5、10 或 15 kW，專為 PECVD 或等離子清潔應(yīng)用中的等離子激發(fā)而設(shè)計。該裝置能夠在 7000V RMS 輸出下提供高達(dá) 10kW 的功率。

意大利BDiscom中頻電源BDS.MF10kW貨號1305.C.50037

輸出為平衡型，可驅(qū)動2個對稱電極。典型應(yīng)用是大型工藝室上的 PE-CVD 工藝。一個獨特的特點是內(nèi)置 2 個（標(biāo)準(zhǔn)）或 3 個（根據(jù)要求）變壓器抽頭的高壓匹配變壓器可用作阻抗匹配。

用戶只需將兩根同軸電纜連接到電極即可。與用戶 PLC 的接口可以是模擬或數(shù)字 RS232 或 Profibus（根據(jù)要求）。

亮點和好處：

• 內(nèi)置輸出匹配變壓器，無需外接盒。
• 風(fēng)冷裝置。沒有與水分或漏水相關(guān)的風(fēng)險。
• 環(huán)境溫度高達(dá) 40C° 時的全功率。
• 模擬接口。
• Profibus 接口可應(yīng)要求提供。
• 前面板顯示使安裝和故障排除更容易。
• 高效率>90%。
• 緊湊輕巧的結(jié)構(gòu)，僅 20kg，4UI。