E53-VCR德國spectron減壓閥
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產(chǎn)品名稱:spectron減壓閥(E53-VCR)
品牌:德國spectron
產(chǎn)地:德國
型號:E53-VCR
產(chǎn)品特性
? 減壓閥適用于純度高于 6.0 的有害和超高純氣體
? 雙級式減壓閥
? 減壓閥可用于真空
? 高精度控制壓力
? 對外界是金屬對金屬的密封方式
? 高表面質量
? 內置過濾器
? 綁定式膜片結構
? **小的內部空間設計以減少吹掃次數(shù)
? 電解拋光表面(與氣體接觸區(qū)域)
? 通過調節(jié)手輪方便地控制輸出壓力
? 100 % 氦氣檢測
? 在ISO 5.0等級的潔凈室內組裝
技術參數(shù)
工作壓力:** 300 bar
材料:閥體:不銹鋼 1.4404 (SS 316L)
膜片: : 哈氏合金 C276
其它與氣體接觸零件: 不銹鋼 1.4404 (SS 316L)
密封件: PCTFE 、PTFE或 PVDF
表面粗糙度:R?,** ≤ 0,25 μm
R?,平均 ≤ 0,18 μm
泄漏率:(對外): 1 x 10?? mbar l/s He
(對內): 1 x 10?? mbar l/s He
溫度范圍:-20°C 到 +60°C
C?-值:0,24
重量:1,7 kg
進-氣接口:1/4"-VCR -M 或
1/4"-VCR -F