X熒光光譜儀可對固體、粉末、液體、懸浮物、過濾物、大氣飄塵、薄膜樣品等進行定性、定量剖析，元素局限13Al-92U，含量局限ppb至，檢出限到2pg。
X熒光光譜儀優(yōu)點：
1、分析速度高。測定用時與測定精密度有關(guān)，但一般都很短，2～5分鐘*可以測完樣品中的全部待測元素；
2、X射線熒光光譜跟樣品的化學(xué)結(jié)合狀態(tài)無關(guān)，而且跟固體、粉末、液體及晶質(zhì)、非晶質(zhì)等物質(zhì)的狀態(tài)也基本上沒有關(guān)系。(氣體密封在容器內(nèi)也可分析)但是在高分辨率的精密測定中卻可看到有波長變化等現(xiàn)象。特別是在超軟X射線范圍內(nèi)，這種效應(yīng)更為顯著。波長變化用于化學(xué)位的測定；
3、非破壞分析。在測定中不會引起化學(xué)狀態(tài)的改變，也不會出現(xiàn)試樣飛散現(xiàn)象。同一試樣可反復(fù)多次測量，結(jié)果重現(xiàn)性好；
4、X射線熒光分析是一種物理分析方法，所以對在化學(xué)性質(zhì)上屬同一族的元素也能進行分析；
5、分析精密度高；
6、制樣簡單，固體、粉末、液體樣品等都可以進行分析。

X熒光光譜儀根據(jù)有手持和臺式兩種，所采用的都是X熒光光譜儀的原理。X熒光光譜儀由激發(fā)源和探測系統(tǒng)構(gòu)成，根據(jù)各元素的特征X射線的強度，也可以獲得各元素的含量信息，X熒光光譜儀隨著分光、探測系統(tǒng)及X光管等的不斷改善和電子計算機的應(yīng)用，而得到迅速的推廣和發(fā)展。可以預(yù)料，對新技術(shù)、新方法的探索，還會不斷促進XRF熒光光譜儀器的更新發(fā)展。

X熒光光譜儀的優(yōu)勢：
1、制樣簡單：通常情況下是物理制樣。試樣經(jīng)過簡單的破碎、研磨成粉末壓片或熔融制成；
2、分析范圍廣：理論上從元素Be到92號元素鈾均可進行分析；
3、測量范圍寬：從0.001%到均可進行分析。

X熒光光譜儀的使用注意事項： 
1、 為了保持儀器的良好外觀，需經(jīng)常對儀器表面做清潔工作，用軟布擦拭灰塵；
2、 向樣品腔內(nèi)放樣品時，一定要注意清潔，不可使樣品塵粒掉入其中，否則會污染X光管和探測器窗口，造成測量失準(zhǔn)和探頭損壞；
3、 樣品蓋需要用酒精棉球做好清潔工作； 
4、為使儀器能長期工作正常，需定期對各項參數(shù)進行測試，并進行調(diào)整；
5、 儀器只允許經(jīng)培訓(xùn)的人員才能操作，其他人員一律不能操作；
6、 使用、保存和搬動中，要特別小心，以免磕碰、損傷外表、損壞內(nèi)部線路。
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