X熒光光譜儀是一種較新型的可以對多元素進(jìn)行快速同時測定的儀器。在X射線激發(fā)下，被測元素原子的內(nèi)層電子發(fā)生能級躍遷而發(fā)出次級X射線（即X熒光）。波長和能量是從不同的角度來觀察描述X射線所采用的兩個物理量。
X熒光光譜儀優(yōu)點(diǎn)：
1、分析速度高。測定用時與測定精密度有關(guān)，但一般都很短，2～5分鐘*可以測完樣品中的全部待測元素；
2、X射線熒光光譜跟樣品的化學(xué)結(jié)合狀態(tài)無關(guān)，而且跟固體、粉末、液體及晶質(zhì)、非晶質(zhì)等物質(zhì)的狀態(tài)也基本上沒有關(guān)系。(氣體密封在容器內(nèi)也可分析)但是在高分辨率的精密測定中卻可看到有波長變化等現(xiàn)象。特別是在超軟X射線范圍內(nèi)，這種效應(yīng)更為顯著。波長變化用于化學(xué)位的測定；
3、非破壞分析。在測定中不會引起化學(xué)狀態(tài)的改變，也不會出現(xiàn)試樣飛散現(xiàn)象。同一試樣可反復(fù)多次測量，結(jié)果重現(xiàn)性好；
4、X射線熒光分析是一種物理分析方法，所以對在化學(xué)性質(zhì)上屬同一族的元素也能進(jìn)行分析；
5、分析精密度高；
6、制樣簡單，固體、粉末、液體樣品等都可以進(jìn)行分析。

X熒光光譜儀的使用注意事項(xiàng)： 
1、 為了保持儀器的良好外觀，需經(jīng)常對儀器表面做清潔工作，用軟布擦拭灰塵；
2、 向樣品腔內(nèi)放樣品時，一定要注意清潔，不可使樣品塵粒掉入其中，否則會污染X光管和探測器窗口，造成測量失準(zhǔn)和探頭損壞；
3、 樣品蓋需要用酒精棉球做好清潔工作； 
4、為使儀器能長期工作正常，需定期對各項(xiàng)參數(shù)進(jìn)行測試，并進(jìn)行調(diào)整；
5、 儀器只允許經(jīng)培訓(xùn)的人員才能操作，其他人員一律不能操作；
6、 使用、保存和搬動中，要特別小心，以免磕碰、損傷外表、損壞內(nèi)部線路。

X熒光光譜儀操作時注意事項(xiàng)：
1、在測量過程中，不要突然斷電；
2、不要直接分析低熔點(diǎn)樣品，如低熔點(diǎn)瀝青、、油漆等，有些樣品在室溫下是固體，經(jīng)射線照射會融化，如果滴到光管頭上，會損壞儀器。如果要分析，請放在液體杯內(nèi)測量；
3、分析液體樣品和粉末樣品時，必須在氦氣模式下測量，不能抽真空；
4、不要長時間分析液體樣品，液體杯的照射時間一般不能超過半小時；
5、不要分析壓得不堅實(shí)的樣品，如有裂紋的壓片。如果大塊樣品掉到了樣品室，不能再進(jìn)行樣品分析，請通知三翔分析儀器；
6、光管頭上的鈹窗是有毒的，而且比較貴重，一旦鈹窗破了，整根光管就報廢了，請注意：不能用任何物體碰光管頭上的鈹窗。如果有樣品掉到鈹窗上，只能用吸耳球?qū)⑩敶吧系臉悠份p輕吹掉，不要用酒精棉花擦。

X熒光光譜儀的優(yōu)勢：
1、制樣簡單：通常情況下是物理制樣。試樣經(jīng)過簡單的破碎、研磨成粉末壓片或熔融制成；
2、分析范圍廣：理論上從元素Be到92號元素鈾均可進(jìn)行分析；
3、測量范圍寬：從0.001%到均可進(jìn)行分析。
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