產品名稱：INFICON薄膜沉積控制器(GUARDIAN EIES) 

品牌：美國INFICON

產地：美國

型號：GUARDIAN EIES

可同時沉積至多八種材料

CIGS 薄膜的理想之選

Guardian 可將沉積速度控制在 0.1 到 10,000 ?/s 范圍內。它可以操作一個或兩個傳感器，**多 8 個光輸入，并控制**多 8 個沉積源，因此能夠同時沉積**多 8 種材料。

INFICON Guardian 是光伏模塊、有機發(fā)光二極管、光伏、超導薄膜以及分子束外延制造等應用的理想之選。

Guardian Codeposition 系統(tǒng)基于電子碰撞發(fā)射光譜 (EIES)。利用 EIES，要沉積的材料在熱離子發(fā)射體的作用下生熱，從而產生光子。產生的光通過光濾波器達到光電倍增管 (PMT) 檢測器，光電倍增管檢測器可以測量所通過波長的發(fā)射強度。然后，INFICON Guardian 控制器產生信號來控制該材料源。配備了合適濾光器的其他檢測儀可用于多種材料。

一套完整的 Guardian 系統(tǒng)至少包括一個傳感器、一個 PMT 檢測儀、一個濾光器、一個 Guardian 控制器單元以及一臺安裝了 Guardian 軟件的電腦（由用戶提供）。EIES 通常用于控制多種材料的沉積，因此，大多數(shù) EIES 系統(tǒng)還包括其他傳感器、檢測器、光學器件（例如分裂器）以及 QCM，QCM 用于校準或控制某些材料的沉積速率。

要配置 Guardian 共沉積系統(tǒng)，需要考慮以下幾點
沉積材料的初級和二級發(fā)射波長為多少？

如果不同材料的峰值過于相近，您可能需要監(jiān)控二級發(fā)射波長，二級波長的信號強度較弱。

在沉積過程中，真空室中存在哪些本底氣體？這些本底氣體的發(fā)射波長是多少？

如果本底氣體的發(fā)射干擾了沉積材料，則建議使用氣體補償傳感器。

對于特定發(fā)射光譜的原子種類，EIES **為有效。分子種類產生的發(fā)射光譜不穩(wěn)定或者過寬，無法準確測量。不建議將 EIES 用于有機材料。各個具體應用的** EIES 系統(tǒng)配置由以上因素及其他因素確定。

美國INFICON薄膜沉積控制器(GUARDIAN EIES) 功能

監(jiān)控和控制多達 8 種材料的同時沉積過程
從 0.1 至 10,000 ?/s 的沉積速率
集成式 EIES 和 QCM 薄膜過程控制
12 個繼電器輸出和 12 個數(shù)字輸入
用于設置與操作的基于 Windows 的軟件
與 INFICON Sentinel 傳感器兼容