X熒光光譜儀根據其分光原理不同分成波長色散型X熒光光譜儀（波譜儀，WDXRF）和能量色散型X熒光光譜儀（能譜儀，EDXRF）。我們通常所說的X熒光光譜儀就是指波長色散的儀器。
X熒光光譜儀根據有手持和臺式兩種，所采用的都是X熒光光譜儀的原理。X熒光光譜儀由激發(fā)源和探測系統構成，根據各元素的特征X射線的強度，也可以獲得各元素的含量信息，X熒光光譜儀隨著分光、探測系統及X光管等的不斷改善和電子計算機的應用，而得到迅速的推廣和發(fā)展。可以預料，對新技術、新方法的探索，還會不斷促進XRF熒光光譜儀器的更新發(fā)展。

X熒光光譜儀優(yōu)點：
1、分析速度高。測定用時與測定精密度有關，但一般都很短，2～5分鐘*可以測完樣品中的全部待測元素；
2、X射線熒光光譜跟樣品的化學結合狀態(tài)無關，而且跟固體、粉末、液體及晶質、非晶質等物質的狀態(tài)也基本上沒有關系。(氣體密封在容器內也可分析)但是在高分辨率的精密測定中卻可看到有波長變化等現象。特別是在超軟X射線范圍內，這種效應更為顯著。波長變化用于化學位的測定；
3、非破壞分析。在測定中不會引起化學狀態(tài)的改變，也不會出現試樣飛散現象。同一試樣可反復多次測量，結果重現性好；
4、X射線熒光分析是一種物理分析方法，所以對在化學性質上屬同一族的元素也能進行分析；
5、分析精密度高；
6、制樣簡單，固體、粉末、液體樣品等都可以進行分析。

X熒光光譜儀操作時注意事項：
1、在測量過程中，不要突然斷電；
2、不要直接分析低熔點樣品，如低熔點瀝青、、油漆等，有些樣品在室溫下是固體，經射線照射會融化，如果滴到光管頭上，會損壞儀器。如果要分析，請放在液體杯內測量；
3、分析液體樣品和粉末樣品時，必須在氦氣模式下測量，不能抽真空；
4、不要長時間分析液體樣品，液體杯的照射時間一般不能超過半小時；
5、不要分析壓得不堅實的樣品，如有裂紋的壓片。如果大塊樣品掉到了樣品室，不能再進行樣品分析，請通知三翔分析儀器；
6、光管頭上的鈹窗是有毒的，而且比較貴重，一旦鈹窗破了，整根光管就報廢了，請注意：不能用任何物體碰光管頭上的鈹窗。如果有樣品掉到鈹窗上，只能用吸耳球將鈹窗上的樣品輕輕吹掉，不要用酒精棉花擦。

X熒光光譜儀的優(yōu)勢：
1、制樣簡單：通常情況下是物理制樣。試樣經過簡單的破碎、研磨成粉末壓片或熔融制成；
2、分析范圍廣：理論上從元素Be到92號元素鈾均可進行分析；
3、測量范圍寬：從0.001%到均可進行分析。
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