上海伯東美國 KRi 大面積射頻離子源 RFICP 380, 滿足 300 mm (12英寸)晶圓應(yīng)用
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上海伯東美國 KRi 大面積射頻離子源 RFICP 380, 滿足 300 mm (12英寸)晶圓應(yīng)用
上海伯東美國 KRi 大面積射頻離子源 RFICP 380, 滿足 300 mm (12英寸)晶圓應(yīng)用

上海伯東美國-KRi-大面積射頻離子源-RFICP

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品牌 KRi
產(chǎn)地 美國
型號(hào) RFICP 380
最大離子束流 > 1000mA
電壓范圍 100-1500V
離子束動(dòng)能 100-1200eV
離子束柵極 38cm Φ
離子束流形狀 平行,聚焦,散射
中和器 LFN 2000
鎖緊安裝法蘭 12”CF
商品介紹
價(jià)格貨期電議

上海伯東美國 KRi 大口徑射頻離子源 RFICP 380, 3層?xùn)艠O設(shè)計(jì), 柵極口徑 38cm, 提供離子動(dòng)能 100-1200eV 寬束離子束, 最大離子束流 > 1000mA, 滿足 300 mm (12英寸)晶圓應(yīng)用. 廣泛應(yīng)用于離子束刻蝕機(jī).

KRi 射頻離子源 RFICP 380 特性
1. 放電腔 Discharge Chamber, 無需電離燈絲, 通過射頻技術(shù)提供高密度離子, 工藝時(shí)間更長. 2kW & 1.8 MHz, 射頻自動(dòng)匹配
2. 離子源結(jié)構(gòu)模塊化設(shè)計(jì)
3. 離子光學(xué), 自對(duì)準(zhǔn)技術(shù), 準(zhǔn)直光束設(shè)計(jì), 自動(dòng)調(diào)節(jié)技術(shù)保障柵極的使用壽命和可重復(fù)的工藝運(yùn)行
4. 全自動(dòng)控制器
5. 離子束動(dòng)能 100-1200eV
6. 柵極口徑 38cm, 滿足 300 mm (12英寸)晶圓應(yīng)用
射頻離子源 RFICP 380

射頻離子源 RFICP 380 技術(shù)規(guī)格:

陽極

電感耦合等離子體
2kW & 1.8 MHz
射頻自動(dòng)匹配

最大陽極功率

>1kW

最大離子束流

> 1000mA

電壓范圍

100-1500V

離子束動(dòng)能

100-1200eV

氣體

Ar, O2, N2,其他

流量

5-50sccm

壓力

< 0.5mTorr

離子光學(xué), 自對(duì)準(zhǔn)

OptiBeamTM

離子束柵極

38cm Φ

柵極材質(zhì)

鉬

離子束流形狀

平行,聚焦,散射

中和器

LFN 2000

高度

38.1 cm

直徑

58.2 cm

鎖緊安裝法蘭

12”CF


射頻離子源 RFICP 380 基本尺寸:
射頻離子源 RFICP 380

上海伯東美國考夫曼 KRI 大口徑射頻離子源 RFICP 220, RFICP 380 成功應(yīng)用于 12英寸和 8英寸磁存儲(chǔ)器刻蝕機(jī), 8英寸量產(chǎn)型金屬刻蝕機(jī)中, 實(shí)現(xiàn) 8英寸 IC 制造中的 Al, W 刻蝕工藝, 適用于 IC, 微電子,光電子, MEMS 等領(lǐng)域.

作為蝕刻機(jī)的核心部件, KRI  射頻離子源提供大尺寸, 高能量, 低濃度的離子束, 接受客戶定制, 單次工藝時(shí)間更長, 滿足各種材料刻蝕需求!
射頻離子源 RFICP 380

若您需要進(jìn)一步的了解 KRi 射頻離子源, 請(qǐng)參考以下聯(lián)絡(luò)方式
上海伯東: 葉小姐                                   臺(tái)灣伯東: 王小姐
T: +86-21-5046-3511 ext 107              T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490                            F: +886-3-567-0049
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聯(lián)系賣家 葉南晶 （QQ：2821409400）
電話 祹祶祺-祴祹祳祻祷祴祺祺
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地址 上海市浦東新區(qū)
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