上海伯東Pfeiffer殘余氣體分析儀 Hicube RGA
上海伯東Pfeiffer殘余氣體分析儀 Hicube RGA
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上海伯東Pfeiffer殘余氣體分析儀-Hicube-RGA

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聯(lián)系人 葉南晶

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發(fā)貨地 上海市浦東新區(qū)
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商品參數(shù)
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商品介紹
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聯(lián)系方式
品牌 Pfeiffer
產(chǎn)地 德國
型號 Hicube RGA
質(zhì)量數(shù) 1-300amu
檢測器 電子倍增器/法拉第 C-SEM/Faraday (M)
連接法蘭 DN 40 CF-F
最大工作壓力 M hPa 5X10-4
商品介紹
價格貨期電議

上海伯東銷售維修德國 Pfeiffer 殘余氣體分析儀 HiCube RGA. 四極桿質(zhì)譜 PrismaPro 與 HiCube 渦輪分子泵組的完美搭配, 質(zhì)量數(shù)范圍 1-300, 高分辨率和靈敏度. 適用于殘余氣體分析, 過程監(jiān)測, 泄漏檢測.

殘余氣體分析儀 Hicube RGA 優(yōu)勢
殘余氣體分析和氦氣泄漏檢測模式
可用于從大氣壓至高真空環(huán)境
高分辨率和靈敏度
通過真空壓力監(jiān)測保護燈絲
進氣系統(tǒng)帶集成式切斷閥

Pfeiffer 殘余氣體分析儀 Hicube RGA 技術規(guī)格

渦輪分子泵組

HiCube? Eco

功耗

170W

電壓（范圍）

110 - 240 V; 50 / 60 Hz

氮氣抽速

67 l/s

前級泵在 50 Hz 時的泵送速度

1 m3/h

極限真空

<1X10-7 hPa

真空計

PKR 361

測量范圍

1X10-9 至 1X103 hPa

閥門

EVN 116

氣體流量

可調(diào)整, 自 5X10-6 至 3X103 hPa l/s

進氣口

DN 16 ISO-KF

 

PrismaPro

QMG 250 F1

QMG 250 F2

QMG 250 F3

QMG 250 M1

QMG 250 M2

QMG 250 M3

檢測器

法拉第 Faraday (F)

電子倍增器/法拉第 C-SEM/Faraday (M)

質(zhì)量數(shù) amu

1–100

1–200

1–300

1–100

1–200

1–300

四極桿直徑／長度

6 /125 mm

最小檢測極限 F hPa *1,2

4X10-13

5X10-13

7X10-13

-

-

-

最小檢測極限 M hPa *1,2

-

-

-

3X10-15

4X10-15

5X10-15

對Ar的靈敏度 F A/hPa*3

5X10-4

4X10-4

3X10-4

5X10-4

4X10-4

3X10-4

最大工作壓力 F hPa

5X10-4

最大工作壓力 M hPa

-

-

-

5X10-5

5X10-5

5X10-5

對臨近質(zhì)量數(shù)的影響*1

< 10 ppm

< 20 ppm

< 50 ppm

< 10 ppm

< 20 ppm

< 50 ppm

操作溫度 分析

200 °C (max. 150 °C when operating with SEM)

操作溫度 電子

5 – 50 °C

烘烤溫度 分析

300 °C

連接法蘭

DN 40 CF-F

保壓時間

1 ms – 16 s/amu

峰比值可重復性

± 0.5 %

接口

以太網(wǎng)

電源電壓

100–240 V AC，50/60 Hz

HiCube? RGA重量

25.5 - 26.2 kg


殘余氣體分析儀 Hicube RGA 典型應用
殘余氣體分析: 對真空系統(tǒng)中殘余氣體的分析, 可以獲知在達到所需的最終壓力或調(diào)節(jié)要求時, 殘余物質(zhì)的組成. 由此可以得出各種有關系統(tǒng)表面性質(zhì), 脫附行為, 純度和密封性以及工藝氣體成分的結(jié)論. 這將為您提供有關真空室或真空組件狀態(tài)的重要信息.

泄漏檢測: 上海伯東 Pfeiffer 殘余氣體分析儀 HiCube RGA 具有氦氣泄漏檢測模式, 可以通過軟件控制激活. 此功能可以方便您發(fā)現(xiàn)真空系統(tǒng)中的任何泄漏.

過程監(jiān)控: HiCube RGA 可以在最大 300u 的測量范圍內(nèi)隨時間觀察任意數(shù)量的選定質(zhì)量強度, 并可對選定的各質(zhì)量分配警報循環(huán)閾值. 如果它們高于或低于所需極限, 則可以通過數(shù)字輸出將信號提供給更高級別的控制系統(tǒng). 因此殘余氣體分析儀 HiCube RGA 能夠提供實時過程觀察和控制功能. EVN 116 氣體計量閥還可以使真空系統(tǒng)中的壓力適應相應過程需求, 此外, 集成式切斷閥還允許對泄漏設定點進行快速開/關控制.

質(zhì)量保證和過程優(yōu)化: 諸如提供氣體成分定量測定, 確定過程氣體純度, 以及監(jiān)測真空鍍膜過程相關氣體成分等能力, 殘余氣體分析儀 HiCube RGA 是過程記錄和質(zhì)量保證中的重要工具. 即使測量正在執(zhí)行, 所有測量值也會得到存儲, 并且可以在不停止測量的情況下追蹤. 即使仍在執(zhí)行測量, 也可以導出測量結(jié)果以進行進一步分析.

若您需要進一步的了解殘余氣體分析儀詳細信息或討論, 請參考以下聯(lián)絡方式：
上海伯東: 葉小姐                                   臺灣伯東: 王小姐
T: +86-21-5046-3511 ext 107              T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490                            F: +886-3-567-0049
M: +86 1391-883-7267 ( 微信同號 )      M: +886-939-653-958
qq: 2821409400

現(xiàn)部分品牌誠招合作代理商, 有意向者歡迎聯(lián)絡上海伯東 葉小姐 1391-883-7267
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公司名稱 上海伯東真空產(chǎn)品事業(yè)部
聯(lián)系賣家 葉南晶 （QQ：2821409400）
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地址 上海市浦東新區(qū)
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