上海伯東-Pfeiffer-渦輪分子泵-HiPace
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上海伯東德國普發(fā)渦輪分子泵 Pfeiffer HiPace 700. 渦輪分子泵 HiPace 700 對氮氣抽速可達到 685 l/s, 緊湊設(shè)計, 低能耗的同時保證分子泵最高抽吸能力.
渦輪分子泵 HiPace 700 占地面積小, 任意位置安裝. 適用于工業(yè)環(huán)境-保護等級 IP 54, 通過半導(dǎo)體 S2, UL / CSA 認證. 通過分子泵控制器監(jiān)控運算數(shù)據(jù), 集成風(fēng)冷.
渦輪分子泵 HiPace 700 可選分子泵控制器 TC 400/TCP 350, 多種密封方式和配件供選擇, 上海伯東可協(xié)助客戶選型并提供完善的售后維修服務(wù).
渦輪分子泵 HiPace 700 特性
穩(wěn)健性工業(yè)設(shè)計和經(jīng)過實踐證明的高可靠性分子泵軸承系統(tǒng)
結(jié)構(gòu)緊湊, 滿足更小的安裝空間要求
分子泵高氣流量和高抽速
基本款任意角度安裝
防護等級 IP 54, 符合工業(yè)環(huán)境要求
可應(yīng)用于腐蝕性氣體工藝
分子泵通過 SEMI S2 和 UL 認證
渦輪分子泵 HiPace 700 技術(shù)參數(shù)
進氣口 | DN 160 ISO-K | DN 160 CF-F | DN 160 ISO-F | DN 160 ISO-K | DN 160 CF-F | DN 160 ISO-F | |
圖片 |
| ||||||
分子泵控制器 | 型號 | 標配 | 標配 | 標配 | 選配 | 選配 | 選配 |
抽速 | Ar L/S | 665 | 665 | 665 | 665 | 665 | 665 |
H2 L/S | 555 | 555 | 555 | 555 | 555 | 555 | |
He L/S | 655 | 655 | 655 | 655 | 655 | 655 | |
N2 L/S | 685 | 685 | 685 | 685 | 685 | 685 | |
壓縮比 | Ar | 1X1011 | 1X1011 | 1X1011 | 1X1011 | 1X1011 | 1X1011 |
H2 | 4X105 | 4X105 | 4X105 | 4X105 | 4X105 | 4X105 | |
He | 3X107 | 3X107 | 3X107 | 3X107 | 3X107 | 3X107 | |
N2 | >1X1011 | >1X1011 | >1X1011 | >1X1011 | >1X1011 | >1X1011 | |
全轉(zhuǎn)速時氣體流量 | Ar hPa l/s | 3.5 | 3.5 | 3.5 | 1.5 | 1.5 | 1.5 |
H2 hPa l/s | >14 | >14 | >14 | >8 | >8 | >8 | |
He hPa l/s | 20 | 20 | 20 | 5 | 5 | 5 | |
N2 hPa l/s | 6.5 | 6.5 | 6.5 | 3 | 3 | 3 | |
極限壓力 | hPa | <1X10-7 | <5X10-10 | <1X10-7 | <1x10-7 | <5x10-10 | <1x10-7 |
最大預(yù)抽真空 | N2 hPa | 11 | 11 | 11 | 11 | 11 | 11 |
電壓 | VDC | 48 | 48 | 48 | 48 | 48 | 48 |
最大電流 | A | 8.4 | 8.4 | 8.4 | 8.75 | 8.75 | 8.75 |
轉(zhuǎn)速± 2 % | RPM | 49200 | 49200 | 49200 | 49200 | 49200 | 49200 |
聲噪 | dB(A) | ≤50 | ≤50 | ≤50 | ≤50 | ≤50 | ≤50 |
允許最大磁場 | mT | 6 | 6 | 6 | 6 | 6 | 6 |
啟動時間 | min | 2 | 2 | 2 | 5.5 | 2.5 | 2.5 |
重量 | kg | 11.5 | 17.4 | 12.1 | 10.6 | 16.5 | 10.6 |
* 控制器選擇 TCP 350, 可以使分子泵在輻射環(huán)境中使用
* P 系列: 耐粉塵
* PLUS 系列: 極微振動,雜散磁場低
* H 系列: 極高的壓縮比,尤其適用于輕質(zhì)氣體
Pfeiffer 渦輪分子泵 HiPace 700 套裝:
上海伯東提供完整的分子泵套裝供您選擇, 包含一臺 HiPace 700 分子泵主機和控制電源等, 分子泵套裝滿足基本的應(yīng)用, 可以安裝在所有情況下并輕松調(diào)試渦輪分子泵. 套裝內(nèi)配置如下:
分子泵 | 分子泵電源與控制器連接線 | 風(fēng)扇 | OmniControl 400 | 接口電纜, M12 m 直型/M12 m 直型, 3 m |
接口電纜, M12 m 直型/M12 m 直型, 3 m |
標準款渦輪分子泵 HiPace 700 在售型號
對所有氣體的高抽吸能力和極高壓縮,適合所有標準應(yīng)用
進氣口 | 分子泵控制器 | I/O接口 | 集成電源包 | 資料下載 |
DN 160 ISO-F | TC 400 | RS-485, 遠程, Profibus | - | |
DN 160 CF-F | TC 400 | RS-485, 遠程, Profibus | - | |
DN 160 ISO-K | TC 400 | RS-485, 遠程, Profibus |
| |
DN 160 ISO-F | 另配 TCP 350 | - | - | |
DN 160 CF-F | 另配 TCP 350 | - | - | |
DN 160 ISO-K | 另配 TCP 350 | - | - | |
DN 160 ISO-F | TC 400 | RS-485, 遠程 | - | |
DN 160 CF-F | TC 400 | RS-485, 遠程 | - | |
DN 160 ISO-K | TC 400 | RS-485, 遠程 | - | |
DN 160 ISO-F | TC 400 | RS-485, 遠程 | 是 | |
DN 160 CF-F | TC 400 | RS-485, 遠程 | 是 | |
DN 160 ISO-K | TC 400 | RS-485, 遠程 | 是 |
耐粉塵渦輪分子泵 HiPace 700P 在售型號
適用于鍍膜及半導(dǎo)體工藝以及諸如電子束焊接裝置等易受灰塵影響的工業(yè)應(yīng)用
進氣口 | 分子泵控制器 | I/O接口 | 集成電源包 | 資料下載 |
DN 160 ISO-F | TC 400 | RS-485, 遠程 | - | |
DN 160 CF-F | TC 400 | RS-485, 遠程 | - | |
DN 160 ISO-K | TC 400 | RS-485, 遠程 |
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低振動渦輪分子泵 HiPace 700 PLUS 在售型號
極微振動,雜散磁場低,適用于高要求分析設(shè)備,例如電子顯微鏡
進氣口 | 分子泵控制器 | I/O接口 | 集成電源包 | 資料下載 |
DN 160 ISO-K | TC 400 | RS-485, 遠程 | - | |
DN 160 CF-F | TC 400 | RS-485, 遠程 | - | |
DN 160 ISO-F | TC 400 | RS-485, 遠程 |
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極高壓縮比渦輪分子泵 HiPace 700 H 在售型號
極高的壓縮比,尤其適用于輕質(zhì)氣體,實現(xiàn)超高真空
進氣口 | 分子泵控制器 | I/O接口 | 集成電源包 | 資料下載 |
DN 160 ISO-K | TC 400 | RS-485, 遠程 | - | |
DN 160 CF-F | TC 400 | RS-485, 遠程 | - | |
DN 160 ISO-F | TC 400 | RS-485, 遠程 | - | |
DN 160 ISO-K | 另配 TCP 350 | - | - | |
DN 160 CF-F | 另配 TCP 350 | - | - | |
DN 160 ISO-F | 另配 TCP 350 | - | - |
渦輪分子泵應(yīng)用 HiPace 700
鍍膜: 光伏, CD / DVD / PVD, 光學(xué)鍍膜, 硬質(zhì)涂層
工業(yè): 醫(yī)學(xué)技術(shù), 工業(yè)檢漏, 電子束焊接, 隔離真空, 熱處理, 燈管制造
研發(fā): 核研究, 等離子研究, 粒子加速器, 冷凍研究, 納米技術(shù), 生物技術(shù)
分析儀器: 質(zhì)譜, 表面分析, 殘余氣體分析
半導(dǎo)體: PVD, CVD, Beamline, Inspection, MBE, Loard-Locks
上海伯東 Pfeiffer 渦輪分子泵抽速范圍 10 至 2700 L/S, 轉(zhuǎn)速最高 90,000 rpm, 極限真空最大 1E-11 mbar, 對小分子氣體具有更高的壓縮比, 實踐證明 Pfeiffer 渦輪分子泵運行時間可以達到 100,000 小時! 普發(fā)分子泵提供復(fù)合軸承分子泵和五軸全磁浮分子泵二大系列滿足不同應(yīng)用, 推薦搭配 Pfeiffer 旋片泵和干泵共同使用. 推薦分子泵典型應(yīng)用 >>
若您需要進一步的了解渦輪分子泵詳細信息, 請參考以下聯(lián)絡(luò)方式
上海伯東: 葉小姐 臺灣伯東: 王小姐
T: +86-21-5046-3511 ext 107 T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490 F: +886-3-567-0049
M: +86 1391-883-7267 ( 微信同號 ) M: +886-939-653-958
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