厚度標(biāo)準(zhǔn)塊（片）—JJF1306- 2011X射線熒光鍍層測(cè)厚儀廣泛應(yīng)用于電子、半導(dǎo)體、集成電路等 先進(jìn)制造領(lǐng)域中鍍層膜厚測(cè)量?jī)x器的誤差校準(zhǔn) 及量值溯源，自支撐金屬膜厚標(biāo)準(zhǔn)片、鍍層膜厚標(biāo)準(zhǔn) 塊、涂覆層測(cè)厚儀厚度標(biāo)準(zhǔn)片，滿足JJF1306- 2011 X射線熒光鍍層測(cè)厚儀校準(zhǔn)規(guī)范。

特點(diǎn)：

厚度標(biāo)準(zhǔn)塊（片）—JJF1306- 2011X射線熒光鍍層測(cè)厚儀攜帶方便，應(yīng)用靈活，定值精度高，直 接溯源于國(guó)家鍍層膜厚標(biāo)準(zhǔn)。技術(shù)指標(biāo)：

標(biāo)稱厚度          加工偏差                測(cè)量不確定度 

<0.1mm           ±35%                      0.005mm 

0.05~1mm       ±30%                  <0.01mm+5% 

>1~10mm       ±25%                        <5% 

>10~50mm     ±15%                        <5% 

>50mm           ±10%                         <5%

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