深圳精信立科技有限公司
主營(yíng)產(chǎn)品: 波前傳感器, 深度制冷短波紅外相機(jī), 可調(diào)諧太赫茲源
ATL-Lasertech準(zhǔn)分子激光器短脈沖準(zhǔn)分子激光器系列-多型號(hào)可選
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廣東省深圳市
主營(yíng)產(chǎn)品
一、產(chǎn)品簡(jiǎn)介
1、準(zhǔn)分子激光器采用ArF、KrF作為增益介質(zhì),是產(chǎn)生大能量、重復(fù)頻率輸出的193nm、244nm激光輸出的主要手段。短波長(zhǎng)激光器對(duì)材料有良好的冷剝離能力,同時(shí)成像分辨率較高,廣泛用于微加工、掩膜刻寫、激光燒蝕等領(lǐng)域。德國(guó)ATL Lasertech 公司專業(yè)生產(chǎn)小型化、高重頻、短脈沖準(zhǔn)分子激光器,主要應(yīng)用于:
l眼科手術(shù)
l玻璃及塑料微加工
l微制造
l激光剝蝕
lTOF質(zhì)譜
lFBG刻寫
2、ATL 提供ATLEX、專用于FBG刻寫的ATLEX-FBG系列,低負(fù)荷的ATLEX-LR系列,以及非常緊湊的ATLEX-S系列。產(chǎn)品采用一系列獨(dú)到的設(shè)計(jì)以滿足工業(yè)級(jí)應(yīng)用需求:
l軟電暈預(yù)電離
l全固態(tài)高壓脈沖發(fā)生器
l激光頭容積 < 3L
l全金屬-陶瓷管路
l集成真空泵及鹵素過(guò)濾器
l全風(fēng)冷,主動(dòng)熱管理
lRS485,RS232,USB以及光纖接口
l可沖洗光具座
l能量穩(wěn)定模式
二、型號(hào)及參數(shù)
1、ATLEX-I 系列
ATLEX-I依據(jù)重復(fù)頻率的不同,分為ATLEX-300-I、ATLEX-500-I、ATLEX-1000-I三個(gè)型號(hào)。
增益介質(zhì) | F2 | ArF | KrF | XeCl | XeF | |
波長(zhǎng)(nm) | 157 | 193 | 248 | 308 | 351 | |
高壓開關(guān)技術(shù) | 固態(tài)開關(guān) | |||||
最高脈沖能量(mJ) | 1 | 10 | 15 | 8 | 7 | |
最高平均功率(W) | ATLEX-300-I | 0.2 | 2.4 | 4.0 | 2.0 | 1.7 |
ATLEX-500-I | 0.5 | 4.0 | 6.5 | 3.0 | 2.5 | |
ATLEX-1000-I | N/A | 8 | 10 | N/A | N/A | |
最高重頻(Hz) | ATLEX-300-I | 300 | ||||
ATLEX-500-I | 500 | |||||
ATLEX-1000-I | 1000 | |||||
脈沖寬度(ns) | 5 - 8 | |||||
光束尺寸(mm) | 4×6 | |||||
光束發(fā)散角(mrad) | 1×2 | |||||
能量穩(wěn)定性(rms) | 3% | |||||
外形尺寸(mm, L×W×H) | 540×470×300 |
2、ATLEX-FBG系列
ATLEX-FBG系列專為FBG刻寫設(shè)計(jì),具備較好的空間相干性指標(biāo)。ATLEX-FBG共300、500兩個(gè)型號(hào)。
增益介質(zhì) | ArF | KrF | |
波長(zhǎng)(nm) | 193 | 248 | |
高壓開關(guān)技術(shù) | 固態(tài)開關(guān) | ||
最高脈沖能量(mJ) | 10 | 15 | |
空間相干性(光斑豎直方向)(um) | >300 | ||
最高平均功率(W) | ATLEX-300-I | 2.4 | 4.0 |
ATLEX-500-I | 4.0 | 6.5 | |
最高重頻(Hz) | ATLEX-300-I | 300 | |
ATLEX-500-I | 500 | ||
脈沖寬度(ns) | 5 - 8 | ||
光束尺寸(mm) | 4×6 | ||
光束發(fā)散角(mrad) | 1×2 | ||
能量穩(wěn)定性(rms) | 3% | ||
外形尺寸(mm, L×W×H) | 540×470×300 |
3、ATLEX-LR系列
ATLEX-LR 系列適合低負(fù)荷使用,專門為激光剝蝕(Laser Ablation)設(shè)計(jì)。激光為193nm輸出優(yōu)化,同時(shí)具有非??斓纳仙睾透叻逯倒β省?/span>
增益介質(zhì) | ArF |
波長(zhǎng)(nm) | 193 |
高壓開關(guān)技術(shù) | 固態(tài)開關(guān) |
最高脈沖能量(mJ) | 12 |
能量穩(wěn)定選項(xiàng)輸出(mJ) | 10 |
脈沖寬度(ns) | 5 |
光束尺寸(mm) | 4×6 |
光束發(fā)散角(mrad) | 1×2 |
能量穩(wěn)定性(rms) | 3% |
外形尺寸(mm, L×W×H) | 540×470×300 |
4、ATLEX-S系列
ATLEX-S具備更小的尺寸,適合低-中負(fù)荷的應(yīng)用。
增益介質(zhì) | ArF | KrF | |||
波長(zhǎng)(nm) | 193 | 248 | |||
高壓開關(guān)技術(shù) | 固態(tài)開關(guān) | ||||
最高脈沖能量(mJ) | 10 | 15 | |||
最高平均功率(W) | 2.4 | 4.0 | 4 | 6 | |
最高重頻(Hz) | 300 | 500 | 300 | 500 | |
脈沖寬度(ns) | 5 - 8 | ||||
光束尺寸(mm) | 4×6 | ||||
光束發(fā)散角(mrad) | 1×2 | ||||
能量穩(wěn)定性(rms) | 3% | ||||
外形尺寸(mm, L×W×H) | 630×400×300 |
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