浙江卷繞鍍設(shè)備-金屬卷繞鍍生產(chǎn)批發(fā)
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東莞市龍錚真空設(shè)備有限公司
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廣東省東莞市
真空鍍膜機設(shè)備分類
對于真空鍍膜機設(shè)備的分類,到底了解多少?
真空鍍膜機主要指一類需要在較高真空度下進行的鍍膜設(shè)備,包括真空離子蒸發(fā)鍍膜機、磁控濺鍍膜機射、MBE分子束外延鍍膜機和PLD激光濺射沉積鍍膜機等很多種。
主要是分成蒸發(fā)和濺射兩種。
在真空鍍膜設(shè)備中需要鍍膜的被成為基片,鍍的材料被成為靶材。
基片與靶材同在真空腔中。
蒸發(fā)鍍膜一般是加熱靶材使表面組分以原子團或離子形式被蒸發(fā)出來,并且沉降在基片表面,通過成膜過程形成薄膜。
真空鍍膜機對于濺射類鍍膜,可以簡單理解為利用電子或高能激光轟擊靶材,并使表面組分以原子團或離子形式被濺射出來,
并且沉積在基片表面,經(jīng)歷成膜過程,形成薄膜。爐體可選擇由不銹鋼、碳鋼或它們的組合制成的雙層水冷結(jié)構(gòu)。
根據(jù)工藝要求選擇不同規(guī)格及類型鍍膜設(shè)備,其類型有電阻蒸發(fā)真空鍍膜設(shè)備、電子束蒸發(fā)真空鍍膜設(shè)備、
磁控濺射真空鍍膜設(shè)備、離子鍍真空鍍膜設(shè)備、磁控反應(yīng)濺射真空鍍膜設(shè)備、空心陰極離子鍍和多弧離子鍍等。
夾具運轉(zhuǎn)形式有自轉(zhuǎn)、公轉(zhuǎn)及公轉(zhuǎn)+自轉(zhuǎn)方式,用戶可根據(jù)片尺寸及形狀提出相應(yīng)要求,轉(zhuǎn)動的速度范圍及轉(zhuǎn)動精度:普通可調(diào)及變頻調(diào)速等。