臺(tái)灣龍翩機(jī)1400配置表

機(jī)械泵     美國凱尼真空泵

羅茨泵     德國普發(fā)羅茨泵2000A

電子槍     日本PLASMATECH1 OKW

POLYCOLD   美國POLYCOLD

離子源     美國KRI考夫曼離子源

加熱系統(tǒng)   上烘烤電加熱絲

氣體流量   三路美國布魯克斯流量計(jì)

晶控膜厚儀 美國英?？礢QM-160

全自動(dòng)—鍵操作系統(tǒng),每爐產(chǎn)品參數(shù)帶記憶儲(chǔ)存功能

臺(tái)灣龍翩機(jī)1200配置表

機(jī)械泵       英國愛德華275

羅茨泵       英國愛德華2600

電子槍       日本PLASMATECH10KW

POLYCOLD     美國POLYCOLD

離子源       美國KRI考夫曼離子源

加熱系統(tǒng)     下加熱燈管加熱 

氣體流量     三路美國布魯克斯流量計(jì)

晶控膜厚儀   美國英福康SQM-160

全自動(dòng)一鍵操作系統(tǒng)，每爐產(chǎn)品參數(shù)帶記憶儲(chǔ)存功能

韓國2050光學(xué)機(jī)配置表

機(jī)械泵  英國愛德華275

羅茨泵  英國愛德華EH2600

擴(kuò)散泵  韓國雙800

膜厚儀  美國英福康IC-5

電子槍  日本原裝JEOL雙槍(目前單槍)

離子源  韓國霍爾源

深冷    韓國

本裝置是為減反射光學(xué)薄膜的大批量生產(chǎn)而設(shè)計(jì)制作的光學(xué)鍍膜機(jī)。
采用了磁流體密封技術(shù)的中心旋轉(zhuǎn)式基板架，保證了薄膜產(chǎn)品的重復(fù)性與均勻性