北京科創(chuàng)鼎新真空技術(shù)有限公司
店齡5年 · 企業(yè)認(rèn)證 · 北京市昌平區(qū)
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北京科創(chuàng)鼎新真空技術(shù)有限公司
主營產(chǎn)品: 其他行業(yè)專用設(shè)備
真空腔體加工機(jī)構(gòu)-半導(dǎo)體真空腔體加工中心-科創(chuàng)真空
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生產(chǎn)加工
所在地區(qū)
北京市昌平區(qū)
主營產(chǎn)品
真空腔體
真空腔體是內(nèi)部為真空狀態(tài)的容器,很多先進(jìn)的技術(shù)工藝均需要在真空或惰性氣體保護(hù)條件下完成,真空腔體是這些工藝過程中重要的基礎(chǔ)設(shè)備.
根據(jù)真空度國標(biāo)真空被分為低真空(100000-100Pa),中真空(100-0.1Pa),高真空(0.1-10-5Pa),超高真空(10-5-10Pa)。低真空主要應(yīng)用于隔熱及絕緣、金屬熔煉脫氣、無氧化加熱、真空冷凍及干燥和低壓風(fēng)洞等;高真空主要應(yīng)用于真空冶金、真空鍍膜設(shè)備等領(lǐng)域;超高真空則偏向物理實(shí)驗(yàn)方向。
影響真空絕緣水平的主要因素
電極資料
真空開關(guān)作業(yè)在10-2Pa以上的高真空,因?yàn)榇丝虤怏w分子十分稀疏,氣體分子的碰撞游離對擊穿已經(jīng)不起效果,因而擊穿電壓表現(xiàn)出和電極資料有較強(qiáng)的相關(guān)性。
真空空隙的擊穿電壓跟著電極資料的不同而不同,研究者發(fā)現(xiàn)擊穿電壓和資料的硬度與機(jī)械強(qiáng)度有關(guān)。一般來說,硬度和機(jī)械強(qiáng)度較高的資料,往往有較高的絕緣強(qiáng)度。比如,鋼電極在淬火后硬度進(jìn)步,其擊穿電壓較淬火前可進(jìn)步80%。
此外,擊穿電壓還和陰極資料的物理常數(shù)如熔點(diǎn)、比熱和密度等正相關(guān),即熔點(diǎn)較高的資料其擊穿電壓也較高。比照熱和密度而言亦然。這一問題的實(shí)質(zhì)是在相同熱能的效果下,資料發(fā)作熔化的概率越大,則擊穿電壓越低。
檢測漏率問題
用戶頭疼的是檢測漏率問題。漏分內(nèi)漏和外漏;外漏比較好檢測,內(nèi)漏則難辦些。較大的漏點(diǎn)可以用火焰法,利用氣流能使火焰偏離的原理,先抽上真空,用蠟燭或打火機(jī)在點(diǎn)附近逐步查尋,會發(fā)現(xiàn)火苗向漏點(diǎn)偏移,則可找到漏點(diǎn)。我們用自制的檢漏儀可以在旋片泵工作范圍內(nèi)進(jìn)行檢漏,現(xiàn)在已經(jīng)生產(chǎn)ZHC.1型儀表。該檢漏儀表用ZJ.2電離規(guī)管,規(guī)管接在旋片泵吸氣口來檢測。若是擴(kuò)散泵機(jī)組的話,可以檢測到l0P的漏率。