原裝高配OTFC-1550光馳機(年份:2015. 11

日本電子16P雙槍，23 寸光馳RF離子源

275機械泵+愛德華配套羅茨泵

HOM2R-VIS350A光學(xué)膜厚監(jiān)控儀

XTC/3+6點式水晶傳感器

1.產(chǎn)品參數(shù):

真空室中1550 X 1800mm(H)

工件架φ1400mm工件架轉(zhuǎn)速10rpm to 30rpm (可變)

光學(xué)膜厚控制HOM2- R-VIS350A

波長范圍:350nm to 1100nm 光學(xué)膜厚監(jiān)控儀反射式/透射式

水晶式膜厚計XTC/3+6點式水晶傳感器

蒸發(fā)源電子槍2套

離子源17cmRF 離子源

機械泵:排氣系統(tǒng)2個擴散泵Polycold(或2 個冷凝泵)

2. 性能:達到壓力7.0X10-5Pa以下排氣時間20分 (大氣壓,1.3X10- 3Pa)基板溫度最高:350

3. 設(shè)備尺寸:約5500mn(W) X 7200mm()X3700mm(H)  3相, 200v, 50/60Hz,

4. 電源約120KVA 水流量180 升/分以上 空氣壓力0. 5MPa以上

5. 重量約11000kg

東莞市宏誠光學(xué)制品有限公司

委托代理：錢云蕾

電    話：0769-23106300/15112732962

傳    真：0769-23064224

地    址：東莞市茶山鎮(zhèn) 黃嶺路62號