X熒光光譜儀根據(jù)其分光原理不同分成波長色散型X熒光光譜儀（波譜儀，WDXRF）和能量色散型X熒光光譜儀（能譜儀，EDXRF）。我們通常所說的X熒光光譜儀就是指波長色散的儀器。
X熒光光譜儀操作時注意事項：
1、在測量過程中，不要突然斷電；
2、不要直接分析低熔點樣品，如低熔點瀝青、、油漆等，有些樣品在室溫下是固體，經(jīng)射線照射會融化，如果滴到光管頭上，會損壞儀器。如果要分析，請放在液體杯內(nèi)測量；
3、分析液體樣品和粉末樣品時，必須在氦氣模式下測量，不能抽真空；
4、不要長時間分析液體樣品，液體杯的照射時間一般不能超過半小時；
5、不要分析壓得不堅實的樣品，如有裂紋的壓片。如果大塊樣品掉到了樣品室，不能再進行樣品分析，請通知三翔分析儀器；
6、光管頭上的鈹窗是有毒的，而且比較貴重，一旦鈹窗破了，整根光管就報廢了，請注意：不能用任何物體碰光管頭上的鈹窗。如果有樣品掉到鈹窗上，只能用吸耳球?qū)⑩敶吧系臉悠份p輕吹掉，不要用酒精棉花擦。

X熒光光譜儀的使用注意事項： 
1、 為了保持儀器的良好外觀，需經(jīng)常對儀器表面做清潔工作，用軟布擦拭灰塵；
2、 向樣品腔內(nèi)放樣品時，一定要注意清潔，不可使樣品塵粒掉入其中，否則會污染X光管和探測器窗口，造成測量失準和探頭損壞；
3、 樣品蓋需要用酒精棉球做好清潔工作； 
4、為使儀器能長期工作正常，需定期對各項參數(shù)進行測試，并進行調(diào)整；
5、 儀器只允許經(jīng)培訓的人員才能操作，其他人員一律不能操作；
6、 使用、保存和搬動中，要特別小心，以免磕碰、損傷外表、損壞內(nèi)部線路。

X熒光光譜儀根據(jù)有手持和臺式兩種，所采用的都是X熒光光譜儀的原理。X熒光光譜儀由激發(fā)源和探測系統(tǒng)構(gòu)成，根據(jù)各元素的特征X射線的強度，也可以獲得各元素的含量信息，X熒光光譜儀隨著分光、探測系統(tǒng)及X光管等的不斷改善和電子計算機的應(yīng)用，而得到迅速的推廣和發(fā)展?？梢灶A(yù)料，對新技術(shù)、新方法的探索，還會不斷促進XRF熒光光譜儀器的更新發(fā)展。

X熒光光譜儀優(yōu)點：
1、分析速度高。測定用時與測定精密度有關(guān)，但一般都很短，2～5分鐘*可以測完樣品中的全部待測元素；
2、X射線熒光光譜跟樣品的化學結(jié)合狀態(tài)無關(guān)，而且跟固體、粉末、液體及晶質(zhì)、非晶質(zhì)等物質(zhì)的狀態(tài)也基本上沒有關(guān)系。(氣體密封在容器內(nèi)也可分析)但是在高分辨率的精密測定中卻可看到有波長變化等現(xiàn)象。特別是在超軟X射線范圍內(nèi)，這種效應(yīng)更為顯著。波長變化用于化學位的測定；
3、非破壞分析。在測定中不會引起化學狀態(tài)的改變，也不會出現(xiàn)試樣飛散現(xiàn)象。同一試樣可反復(fù)多次測量，結(jié)果重現(xiàn)性好；
4、X射線熒光分析是一種物理分析方法，所以對在化學性質(zhì)上屬同一族的元素也能進行分析；
5、分析精密度高；
6、制樣簡單，固體、粉末、液體樣品等都可以進行分析。
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