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當一個方向的長度比其它兩個方向的長度小時，這種結構稱之為薄膜。如今，微電子薄膜，光學薄膜，抗氧化薄膜，巨磁電阻薄膜，高溫超導薄膜等在工業(yè)生產和人類生活中的不斷應用，在工業(yè)生產的薄膜，其厚度是一個非常重要的參數(shù)，直接關系到該薄膜材料能否正常工作。

通常情況下，薄膜的厚度指的是基片表面和薄膜表面的距離，而實際上，薄膜的表面是不平整，不連續(xù)的，且薄膜內部存在著針孔、微裂紋、纖維絲、雜質、晶格缺陷和表面吸附分子等。如大規(guī)模集成電路的生產工藝中的各種薄膜，由于電路集成程度的不斷提高，薄膜厚度的任何微小變化，對集成電路的性能都會產生直接的影響。除此之外，薄膜材料的力學性能，透光性能，磁性能，熱導率，表面結構等都與厚度有著密切的聯(lián)系。因此在生產工藝中對膜厚進行在線精確檢測， 是保證產品質量和提高生產效率的重要手段。