X熒光光譜儀可對(duì)固體、粉末、液體、懸浮物、過濾物、大氣飄塵、薄膜樣品等進(jìn)行定性、定量剖析，元素局限13Al-92U，含量局限ppb至，檢出限到2pg。
X熒光光譜儀優(yōu)點(diǎn)：
1、分析速度高。測(cè)定用時(shí)與測(cè)定精密度有關(guān)，但一般都很短，2～5分鐘*可以測(cè)完樣品中的全部待測(cè)元素；
2、X射線熒光光譜跟樣品的化學(xué)結(jié)合狀態(tài)無關(guān)，而且跟固體、粉末、液體及晶質(zhì)、非晶質(zhì)等物質(zhì)的狀態(tài)也基本上沒有關(guān)系。(氣體密封在容器內(nèi)也可分析)但是在高分辨率的精密測(cè)定中卻可看到有波長變化等現(xiàn)象。特別是在超軟X射線范圍內(nèi)，這種效應(yīng)更為顯著。波長變化用于化學(xué)位的測(cè)定；
3、非破壞分析。在測(cè)定中不會(huì)引起化學(xué)狀態(tài)的改變，也不會(huì)出現(xiàn)試樣飛散現(xiàn)象。同一試樣可反復(fù)多次測(cè)量，結(jié)果重現(xiàn)性好；
4、X射線熒光分析是一種物理分析方法，所以對(duì)在化學(xué)性質(zhì)上屬同一族的元素也能進(jìn)行分析；
5、分析精密度高；
6、制樣簡單，固體、粉末、液體樣品等都可以進(jìn)行分析。

X熒光光譜儀根據(jù)有手持和臺(tái)式兩種，所采用的都是X熒光光譜儀的原理。X熒光光譜儀由激發(fā)源和探測(cè)系統(tǒng)構(gòu)成，根據(jù)各元素的特征X射線的強(qiáng)度，也可以獲得各元素的含量信息，X熒光光譜儀隨著分光、探測(cè)系統(tǒng)及X光管等的不斷改善和電子計(jì)算機(jī)的應(yīng)用，而得到迅速的推廣和發(fā)展?？梢灶A(yù)料，對(duì)新技術(shù)、新方法的探索，還會(huì)不斷促進(jìn)XRF熒光光譜儀器的更新發(fā)展。

X熒光光譜儀操作時(shí)注意事項(xiàng)：
1、在測(cè)量過程中，不要突然斷電；
2、不要直接分析低熔點(diǎn)樣品，如低熔點(diǎn)瀝青、、油漆等，有些樣品在室溫下是固體，經(jīng)射線照射會(huì)融化，如果滴到光管頭上，會(huì)損壞儀器。如果要分析，請(qǐng)放在液體杯內(nèi)測(cè)量；
3、分析液體樣品和粉末樣品時(shí)，必須在氦氣模式下測(cè)量，不能抽真空；
4、不要長時(shí)間分析液體樣品，液體杯的照射時(shí)間一般不能超過半小時(shí)；
5、不要分析壓得不堅(jiān)實(shí)的樣品，如有裂紋的壓片。如果大塊樣品掉到了樣品室，不能再進(jìn)行樣品分析，請(qǐng)通知三翔分析儀器；
6、光管頭上的鈹窗是有毒的，而且比較貴重，一旦鈹窗破了，整根光管就報(bào)廢了，請(qǐng)注意：不能用任何物體碰光管頭上的鈹窗。如果有樣品掉到鈹窗上，只能用吸耳球?qū)⑩敶吧系臉悠份p輕吹掉，不要用酒精棉花擦。

X熒光光譜儀的使用注意事項(xiàng)： 
1、 為了保持儀器的良好外觀，需經(jīng)常對(duì)儀器表面做清潔工作，用軟布擦拭灰塵；
2、 向樣品腔內(nèi)放樣品時(shí)，一定要注意清潔，不可使樣品塵粒掉入其中，否則會(huì)污染X光管和探測(cè)器窗口，造成測(cè)量失準(zhǔn)和探頭損壞；
3、 樣品蓋需要用酒精棉球做好清潔工作； 
4、為使儀器能長期工作正常，需定期對(duì)各項(xiàng)參數(shù)進(jìn)行測(cè)試，并進(jìn)行調(diào)整；
5、 儀器只允許經(jīng)培訓(xùn)的人員才能操作，其他人員一律不能操作；
6、 使用、保存和搬動(dòng)中，要特別小心，以免磕碰、損傷外表、損壞內(nèi)部線路。
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