泰思肯VEGA3 是一種熱電子發(fā)射 SEM 系統(tǒng)，配備鎢加熱燈絲或六硼化鑭 (LaB 6 ) 作為電子源。泰思肯VEGA3 是用于低真空和高真空操作的多功能系統(tǒng)，為用戶提供最新技術(shù)的優(yōu)勢(shì)，例如用于更快圖像采集的新改進(jìn)的高性能電子設(shè)備，具有靜態(tài)和動(dòng)態(tài)圖像像差補(bǔ)償?shù)某焖賿呙柘到y(tǒng)或?yàn)橛脩舳x的應(yīng)用程序編寫(xiě)腳本。

此外，通過(guò)強(qiáng)大的渦輪分子和旋轉(zhuǎn)真空泵，可以在幾分鐘內(nèi)達(dá)到最佳操作真空。VEGA3 顯微鏡可配置為 4 種不同的腔室尺寸：SB、LM、XM 和 GM。這些腔室配有各種端口，并設(shè)計(jì)有用于EDX、WDX和EBSD分析的最佳幾何形狀。

泰思肯VEGA 系列是針對(duì)當(dāng)今研究和工業(yè)中廣泛的 SEM 應(yīng)用和需求而設(shè)計(jì)的。對(duì)于那些尋求可靠且功能齊全的入門(mén)級(jí) SEM 系統(tǒng)并保持最佳性價(jià)比的用戶來(lái)說(shuō)，VEGA3 是一個(gè)絕佳的選擇。

獨(dú)特的四透鏡Wide Field Optics?設(shè)計(jì)提供多種工作和顯示模式，采用 TESCAN 專有的中間透鏡 (IML)，用于光束孔徑優(yōu)化

專有的中間透鏡(IML) 作為“孔徑轉(zhuǎn)換器”，以電磁方式交換有效最終孔徑

實(shí)時(shí)In-Flight Beam Tracing?用于性能和光束優(yōu)化，集成了完善的軟件電子光學(xué)設(shè)計(jì)

立柱結(jié)構(gòu)，沒(méi)有任何機(jī)械對(duì)中元件，可實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)立柱設(shè)置和對(duì)齊

高通量大面積自動(dòng)化，例如自動(dòng)化粒子定位和分析

使用全電動(dòng)同心載物臺(tái)實(shí)現(xiàn)卓越的樣品處理

EDX、WDX、EBSD的理想幾何形狀；非失真 EBSD 圖案

通過(guò)強(qiáng)大的渦輪分子和旋轉(zhuǎn)前級(jí)真空泵快速輕松地獲得潔凈室真空

全自動(dòng)顯微鏡設(shè)置，包括電子光學(xué)設(shè)置和校準(zhǔn)

用于 SEM 控制、圖像采集、存檔、處理和分析的復(fù)雜軟件；以多種語(yǔ)言本地化的多用戶環(huán)境

網(wǎng)絡(luò)操作和內(nèi)置的遠(yuǎn)程訪問(wèn)/診斷，都符合 TESCAN 標(biāo)準(zhǔn)

利用3D Beam 技術(shù)的獨(dú)特實(shí)時(shí)立體成像