產(chǎn)品介紹：

MEMS氣體傳感器是利用微電子和微機械加工技術來檢測各種氣體濃度的氣體傳感器。MEMS氣體傳感器采用在清潔空氣中電導率較低的金屬氧化物半導體材料作為氣敏材料，對氣體的靈敏度高。該氣體傳感器具有體積小、質量輕、成本低、功耗低、可靠性高、技術附加值高等特點。

產(chǎn)品特點：

1、微型化設計

MEMS氣體傳感器的體積小、諧振頻率高、功耗低、響應時間短，表面體積比高可以提高表面?zhèn)鞲衅鞯拿舾谐潭取?/p>

2、高度集成

可把不同功能、不同敏感方向或致動方向的多個傳感器或執(zhí)行器集成于一體，形成微傳感器陣列、微執(zhí)行器陣列。

3、高/低溫工作適應性好

MEMS氣體傳感器在工作時基本沒有熱輻射，不影響周邊溫度濕度檢測。