北京科創(chuàng)鼎新真空技術(shù)有限公司主營：氦檢漏設(shè)備,氦質(zhì)譜檢漏儀,LNG抽真空設(shè)備

真空腔體常用的清洗方法

1、放電清洗

放電清洗一般用于高真空、超高真空腔體清洗中.放電清洗的效果取決于電機(jī)材料、幾何形狀及其與表面的關(guān)系.利用電子轟擊氣體造成解吸以及某些碳?xì)浠衔锏娜コ?

2、氮?dú)馇逑?

氮?dú)馇逑粗饕抢昧说獨(dú)庠诓牧媳砻娴奈綗嵝　⑽魰r(shí)間短,容易被抽走的特性,用氮?dú)鉀_洗被污染的真空系統(tǒng),同時(shí)擠占水氣等其他氣體分子的粘附空間,縮短真空系統(tǒng)的抽氣時(shí)間.

真空泵

核聚變裝置的10-4Pa量級(jí)高真空運(yùn)行環(huán)境的獲得主要由低溫泵、渦輪分子泵等可獲得超高真空的泵實(shí)現(xiàn)。根據(jù)不同功能特點(diǎn)，有3類低溫泵安裝在ITER裝置上。Cryostat低溫泵抽氣系統(tǒng)集成了兩臺(tái)超臨界氦氣冷卻低溫吸附泵。200臺(tái)分子泵需要滿足不同子系統(tǒng)的應(yīng)用要求。較低的真空獲得由螺桿泵、羅茨泵和渦旋泵實(shí)現(xiàn)。為滿足ITER裝置的環(huán)境條件，包括Edwards和Pfeiffer公司在內(nèi)的真空泵制造商已經(jīng)對(duì)真空泵的性能進(jìn)行了適應(yīng)性調(diào)整。為使Edwards公司生產(chǎn)的渦輪分子泵的磁場容限適用范圍更為寬泛，磁場容限增強(qiáng)型nEXT400分子泵采用了16mm壁厚的馬氏體不銹鋼整體泵腔結(jié)構(gòu)，導(dǎo)熱基板的空氣冷卻結(jié)構(gòu)，超高真空陶瓷引電和金屬密封裝置，以及耐輻射密封元件優(yōu)化等多項(xiàng)新技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了160mT磁場條件下可靠運(yùn)行。

真空腔體——實(shí)漏和虛漏

并非所有的抽氣時(shí)間延長、極限壓力下降都是因?yàn)樾孤?，在使用檢漏儀檢漏前，有必要了解一下如何判斷真空設(shè)備是否真的發(fā)生了泄漏。

真空腔室的內(nèi)壁或腔室內(nèi)壁附著的污染物，在真空下持續(xù)的釋放出氣體，這種現(xiàn)象被稱為放氣。當(dāng)真空腔室內(nèi)部存在死空間，并且該死空間通過一個(gè)狹長的通道與腔室內(nèi)部連通時(shí)，死空間內(nèi)的氣體在真空下也會(huì)緩慢的釋放出來，形成類似于放氣或泄漏的現(xiàn)象，通常把這種現(xiàn)象叫做虛漏。真實(shí)的泄漏可以通過檢漏找到，放氣也可以通過清洗真空腔體內(nèi)表面而解決，而虛漏一旦產(chǎn)生，很難被發(fā)現(xiàn)，需要在設(shè)計(jì)和制造時(shí)盡量避免容易產(chǎn)生虛漏的結(jié)構(gòu)或工藝，如上圖中的螺紋連接（一定要用的話可以使用空心螺栓），很長的狹縫或毛細(xì)管，兩側(cè)滿焊的腔體焊接（較厚的殼體建議真空側(cè)滿焊大氣側(cè)斷續(xù)焊）等等。