簡(jiǎn)介：

負(fù)壓真空泵系統(tǒng)：是東莞市豫德機(jī)電設(shè)備有限公司(簡(jiǎn)稱“豫德真空”)近期推出的由真空泵、PLC程序控制系統(tǒng)、儲(chǔ)氣罐、真空管道、真空閥門、境外過(guò)濾總成等組成的成套負(fù)壓真空泵系統(tǒng)。目前，該系統(tǒng)廣泛應(yīng)用于電子半導(dǎo)體業(yè)、光電背光模組、機(jī)械加工等行業(yè)。

豫德負(fù)壓真空泵系統(tǒng)出廠時(shí)已經(jīng)包括了抽速控制、進(jìn)氣過(guò)濾、主要運(yùn)行數(shù)據(jù)顯示、運(yùn)行保護(hù)及遠(yuǎn)程控制接口等。只需現(xiàn)場(chǎng)進(jìn)行簡(jiǎn)單的連接電源和管道,即可組成一個(gè)完整的負(fù)壓真空泵系統(tǒng)。該負(fù)壓真空泵系統(tǒng)的控制系統(tǒng)由先進(jìn)的PLC控制系統(tǒng)經(jīng)過(guò)編程后組成,以觸摸屏為人機(jī)界面,實(shí)現(xiàn)對(duì)負(fù)壓真空泵系統(tǒng)、工件行走、磁控靶、工藝設(shè)定和執(zhí)行、報(bào)警保護(hù)系統(tǒng)等的全自動(dòng)化控制。

特點(diǎn)：

負(fù)壓真空泵系統(tǒng)自啟動(dòng)后，全部運(yùn)行過(guò)程可以實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)控制。在工作中，負(fù)壓真空泵系統(tǒng)內(nèi)各處的真空度（即真空稀薄程度平均分布）始終在其允許范圍內(nèi)上下波動(dòng)，其波動(dòng)范圍可根據(jù)設(shè)備需求進(jìn)行調(diào)整。使用螺桿真空泵、羅茨真空泵、旋片真空泵及水環(huán)真空泵負(fù)壓真空泵系統(tǒng)能完全滿足流程工藝。

工作原理：

啟動(dòng)系統(tǒng)，主真空泵組開始工作，直到真空罐內(nèi)真空度達(dá)到設(shè)定的上限值，真空泵自動(dòng)停止運(yùn)行，中央負(fù)壓真空泵系統(tǒng)內(nèi)的真空由管路上的真空止回閥自動(dòng)截止而得到維持。如因工作需求真空罐內(nèi)真空度下降并低于設(shè)定的下限值時(shí)，備用真空泵組自動(dòng)啟動(dòng)。由此循環(huán)往復(fù)，負(fù)壓真空泵系統(tǒng)的真空度能夠維持穩(wěn)定的真空源，滿足生產(chǎn)的要求。