BDS GLOW 3000/6000 AFP 發(fā)生器

BDS-Glow AFP 是一款帶有 AFP（有源前面板）觸摸屏的高壓直流發(fā)生器，專為輝光放電過程而設(shè)計。

它用于為研發(fā)和工業(yè)等離子工藝提供動力，具有高功率轉(zhuǎn)換效率 (90%) 以及極其穩(wěn)定的運行。

典型應(yīng)用包括在薄膜涂層之前對基材進行等離子體清洗或蝕刻。

可選的過程氣體反饋可控制多達兩個質(zhì)量流量控制器 (MFC)。使用此選項，選定的輝光放電過程將使用可變氣流來穩(wěn)定，以調(diào)節(jié)發(fā)生器的輸出設(shè)定點。

產(chǎn)品規(guī)格

• 交流電源輸入電壓：480V 或 400V 三相 50/60Hz +/-10%（美國或歐洲交流電源電壓在訂購時指定）

AC 市電輸入電流：3kW 480V/xA 或 400V/xA 6kW 480V/xA 或 400V/xA（/相）

• 接地：通過PE（保護接地端子）

• 外殼：19" 寬 – 4RU (7"/178mm) 高 19.5"/490mm 深

• 單位重量：xlbs/xkg

• 輸出：直流 

• 輸出極性：負極（以地為基準(zhǔn)）

• 輸出功率：3.2 和 6.4 kW 型號

• 輸出電壓：4kV DC

• 輸出電流：

• 3.2kW 型號 0.8 安培

• 6.4kW 型號 1.6 安培

• 輸出連接：一個 Fischer 105 型同軸連接器 – 用于 RG214/U 型電纜

• 輸出電纜：每個電纜組件的重量為 x 磅。

• 電弧檢測：具有 1uS 響應(yīng)時間的變壓器初級過電流檢測

• 冷卻：強制通風(fēng) - 通過帶有變速風(fēng)扇的前面板

• 前面板顯示屏：觸摸屏 LCD – 240 x 128 像素 – 藍色

• 前面板用戶控制：LCD觸摸顯示屏+旋轉(zhuǎn)編碼器

• 測量和顯示參數(shù)：直流輸出電壓/輸出電流

• 輸出調(diào)節(jié)模式：電壓或電流（前面板選擇）

• 功能保護：過電流 – 開路負載 – 過程電弧 – 交流電源欠壓 – 過溫

• 控制界面：

• 輸出電流：10V = xA

• 輸出電壓：10V=4000V

• 數(shù)字：（可選）RS232 或 Profibus

• 模擬：通過 DB25 連接器 – 0>10VDC 信號，24VDC 數(shù)字和互鎖

• 工作（環(huán)境）溫度：5>40°C

• 電源轉(zhuǎn)換效率：通常為 90%

• 合規(guī)性：CE / EMC EN55011 第 2 組，A 類 ISM

• 制造國 – 意大利

• 運輸重量：66 磅。(30kg) 總運輸重量基于型號和包含的配件。

• 包裝：木箱尺寸 36" (90cm) X 24" (60cm) X 36"H (90cm)

• 運輸方式：本產(chǎn)品可能從工廠發(fā)貨（作為單獨的板條箱）。