BDS AMN 750自動匹配單元

BDISCOM 正在推出新一代自動匹配網(wǎng)絡(luò)單元，其運行在 13.56 MHz 的標(biāo)準(zhǔn) ISM 頻率下，用于工業(yè)和實驗室用途。典型應(yīng)用包括濺射工藝、PECVD 沉積、等離子體活化、介電加熱、激光激發(fā)等。

BDS-AMN 750 型：基于額定電壓為 3000 V 的可變氣帽的自動匹配 | 高達(dá) 20 A。模擬用戶端口引腳與 BDS.HF 200、300 和750 瓦發(fā)電機兼容。

BDS-AMN 750 是用于高頻 (13.56 MHz) 等離子應(yīng)用的阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)，將負(fù)載的復(fù)阻抗轉(zhuǎn)換為 50 歐姆電阻。調(diào)諧電路為 L 型，采用高品質(zhì)可變電容和精密定位電機。典型的調(diào)諧類型小于 2 秒。還提供用于中等阻抗負(fù)載的 TEE 配置。

可以進(jìn)行廣泛的全預(yù)設(shè)或僅一個通道的預(yù)設(shè)。也可能需要一個完全獨立的操作，只需一個外部開關(guān)即可調(diào)用點火位置。DC BIAS 測量電路允許監(jiān)控 DC BIAS，比例為 100。

與所有 Bdiscom 射頻發(fā)生器直接連接。一個匹配的 3 通道 RF 輸出（真空繼電器）作為選項。

附件PDF中的BDS-AMN 750自動匹配規(guī)范：

CE 標(biāo)志 - 意大利制造