北京科儀創(chuàng)新真空技術(shù)有限公司主營：“真空箱式氦檢漏設(shè)備”,“LNG低溫容器抽真空設(shè)備”

氦質(zhì)譜檢漏儀

氦質(zhì)譜檢漏儀（Helium Mass SpectrometerLeakDetector）為氣體工業(yè)名詞術(shù)語，用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進(jìn)行檢漏的質(zhì)譜儀。氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數(shù)小，因而易通過漏孔并易擴(kuò)散；另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設(shè)備，故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀（調(diào)整到僅對氦氣反應(yīng)的工作狀態(tài)）的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應(yīng)，從而可知漏孔所在及漏氣量大小。

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氦質(zhì)譜檢漏儀的校準(zhǔn)方法

氦質(zhì)譜檢漏儀廣泛應(yīng)用于制冷行業(yè)、核工業(yè)、電子行業(yè)、真空行業(yè)、電力行業(yè)、航空航天等行業(yè)。根據(jù)其工作原理和技術(shù)性能指標(biāo)，通過實驗，總結(jié)通過氦質(zhì)譜檢漏儀對其漏率校準(zhǔn)的方法。

氦質(zhì)譜檢漏儀原理:

氦質(zhì)譜檢漏儀是一種以氦氣作為示漏氣體專門用于檢漏的質(zhì)譜分析儀器。其基本工作原理是采集被檢件中的氣體樣品并將其電離，根據(jù)不

氦質(zhì)譜檢漏儀主要由質(zhì)譜室、真空系統(tǒng)和電氣部分等組成。

氦質(zhì)譜檢漏儀的內(nèi)部一般有標(biāo)準(zhǔn)漏孔，可將標(biāo)準(zhǔn)漏孔拆卸進(jìn)行校準(zhǔn)，如果不能單獨校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)漏孔，就可考慮直接通過氦質(zhì)譜檢漏儀進(jìn)行漏率部分的校準(zhǔn)，本文主要討論這種情況下氦漏率的校準(zhǔn)方法。

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如何正確使用氦氣檢漏設(shè)備？

1.為了正確使用氦氣檢漏設(shè)備，在充入檢漏氣體前有必要對抽空樣品進(jìn)行預(yù)抽空。如果在填充前沒有排空，試件中的空氣將被擠壓到幾何空間的末端，氦氣檢漏設(shè)備中的氣體不能進(jìn)入該部分，因此潛在的檢漏孔將僅釋放空氣，檢漏設(shè)備不能檢測到這些檢漏孔。

2.氦氣檢漏設(shè)備的泄漏孔通常很小或很窄。如果泄漏孔在檢漏氣體試驗前放在水箱中，這些泄漏孔或毛細(xì)管會被水堵塞或充滿，從而大大影響檢漏結(jié)果。

3.在填充檢漏氣體之前，有必要快速測試是否有大的泄漏。對大泄漏孔的一個簡單測試方法是在短時間內(nèi)抽空樣品并觀察抽空壓力。如果樣品能夠保持抽空壓力，則表明沒有大的泄漏孔，可以填充泄漏檢測氣體。

4.如果氣密檢漏儀在運(yùn)行過程中沒有在高壓下進(jìn)行泄漏測試，那么氦氣檢漏設(shè)備就不能檢測到一些泄漏孔。因此，在檢漏過程中使用較高的測試壓力可以有效地檢測實際操作中沒有出現(xiàn)的泄漏孔。

5.檢漏試驗中的可檢測泄漏率與檢漏氣體的背景濃度有很大關(guān)系，背景濃度越高，波動越大。如果泄漏測試后泄漏檢測氣體排放到泄漏檢測區(qū)域，背景濃度將在整個工作日持續(xù)增加。此外，在加注或排放過程中，確保沒有氣體溢出，并定期檢查連接件是否有泄漏。

6.如果檢漏氣體泄漏氦和氫，它將像氣球一樣飛到檢漏區(qū)的室頂，并逐漸漂浮在整個檢漏區(qū)。因此，應(yīng)該為泄漏測試區(qū)域提供足夠的通風(fēng)。由于兩種泄漏檢測氣體都傾向于向上移動，因此建議從底部輸入新鮮空氣，從頂部向外排放氣體。