我們的解決方案包括氣體和流量控制器、汽化、自動(dòng)補(bǔ)液、氣體發(fā)生器、超純水監(jiān)測(cè)儀和化學(xué)濃度監(jiān)測(cè)儀。流體控制

HORIBA 擁有多種產(chǎn)品以您的流體測(cè)量和控制要求。

在各種制造和研究實(shí)驗(yàn)室中，我們提供氣體和的測(cè)量和可靠控制。HORIBA 是高性能流量計(jì)、流量控制器、自動(dòng)壓力控制器和汽化的，用于整個(gè)半導(dǎo)體制造行業(yè)。

流量控制

D500

壓力控制

GR-200

液源汽化

壓力控制

HORIBA 提供多種壓力控制產(chǎn)品，用于監(jiān)測(cè)、調(diào)節(jié)或控制供氣管線中的壓力。

HORIBA 壓力控制產(chǎn)品包括數(shù)字高性能壓力傳感器和壓電閥。它們可以幫助由切換高流量管線引起的串?dāng)_影響。

HORIBA 晶圓冷卻使用氦氣來(lái)熱損傷，我們的排氣壓力控制器可保持腔室中的壓力水平一致。DZ-100

DZ-100 超薄流量控制器

超薄流量控制器

DZ-100 繼承了與 HORIBA STEC 的 MFC D500 相同的 CRITERION? 技術(shù)——一種用于層流粘性流量范圍的壓差檢測(cè)。這種創(chuàng)新技術(shù)可以高精度地控制各種氣體的流量。與 D500 一樣，用戶可配置的 DZ-100 支持多量程和多氣體應(yīng)用。MFC的緊湊設(shè)計(jì)了內(nèi)部氣體流路的內(nèi)部體積，的控制算法了響應(yīng)特性。它采用具有高處理能力的緊湊型 CPU，壓電驅(qū)動(dòng)電路和控制 CPU 安裝在 MFC 模塊中，而電源組件則安裝在單獨(dú)的小型控制箱中。通過(guò)將它們與專(zhuān)用微型連接器連接，多可以控制四個(gè) MFC 模塊。

細(xì)分市場(chǎng)：半導(dǎo)體

部門(mén)：流體控制

制造公司：HORIBA STEC, Co., Ltd.

緊湊的自加熱設(shè)計(jì)

創(chuàng)新電極結(jié)構(gòu)帶來(lái)的高性能和高性

鎳合金隔膜具有優(yōu)異的耐腐蝕性

設(shè)定點(diǎn)輸出（2點(diǎn)）

輸出

通過(guò)專(zhuān)用進(jìn)行量程

一鍵歸零

電源要求 +/-15VDC 或 24VDC

符合 CE 和 RoHS