HVA 長(zhǎng)壽命嚴(yán)厲過(guò)程真空閘閥 71000 系列
上海伯東美國(guó) HVA 長(zhǎng)壽命嚴(yán)厲過(guò)程真空閘閥 71000 系列是專(zhuān)為最苛刻的真空環(huán)境而設(shè)計(jì). HVA 真空閘閥 71000 系列由堅(jiān)固的不繡鋼剛坯在 1100°C, 1x10-6 mbar 條件下加工成形, 真空閘閥兩側(cè)密封的門(mén)上雙密封設(shè)計(jì), 閥門(mén)內(nèi)部幾乎沒(méi)有移動(dòng)部件, 最大限度減少粒子的生成. 免維護(hù)設(shè)計(jì)(不繡鋼波紋管與工藝過(guò)程分離). 適用于 MOCVD, ALD, PECVD 等典型的嚴(yán)酷的應(yīng)用. 

HVA 長(zhǎng)壽命嚴(yán)厲過(guò)程真空閘閥 71000 系列特性:
易于系統(tǒng)集成, 幾乎滿足所有應(yīng)用
不繡鋼波紋管與工藝過(guò)程分離 - 免維護(hù)
真空閘閥堅(jiān)固的雙重密封設(shè)計(jì)和低粒子
使用壽命 > 250,000 cycles 啟閉次數(shù)
高壓和機(jī)械加工的不銹鋼閥體
真空閘閥口徑 DN 50-200 mm
手動(dòng)或氣動(dòng)控制
標(biāo)準(zhǔn)法蘭口 KF, ISO, CF, ANSI, JIS 或客戶定制
真空閘閥最大烘烤溫度 250°C
全部美國(guó)設(shè)計(jì), 制造, 組裝, 原裝進(jìn)口

HVA 長(zhǎng)壽命嚴(yán)厲過(guò)程真空閘閥 71000 系列參數(shù):

HVA 長(zhǎng)壽命嚴(yán)厲過(guò)程真空閘閥 71000 系列部件圖:

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