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廣州蘇盈電子科技-氣體質(zhì)量流量控制器
高純 氣廣泛應(yīng)用 于各行業(yè) 和工業(yè)生產(chǎn) 中，通常 用空氣分離工藝 來(lái)制取 ，用氣態(tài) 性高純氣體通過(guò) 管道 或鋼瓶 收集 容器 輸送 給用戶 ，用槽車(chē) 運(yùn)輸 給用戶 。 對(duì)于 高純氣體 管道 輸送 工藝 ，貿(mào)易 轉(zhuǎn)換 計(jì)量 通常 采用 氣體流量計(jì) ，其公稱 通徑 在50 毫米 至數(shù)百 毫米 之間 。 大多數(shù) 交接點(diǎn) 交接點(diǎn) 數(shù)量 大，結(jié)算 額高 ，往往 是由供需雙方 各裝一套 流量計(jì) ，從而 做到 公平 計(jì)量 ，萬(wàn)無(wú)一失 。
對(duì)于 高純氣體 流量計(jì) 的選擇 ，由于 測(cè)量 對(duì)象 的特點(diǎn) 和傳統(tǒng) 習(xí)慣 ，多選用 標(biāo)準(zhǔn) 孔板流量計(jì) ，此類 流量計(jì) 有以下 特點(diǎn) ：1)工作 穩(wěn)定 ，抗干擾能力 強(qiáng)，維修 更換 簡(jiǎn)單 方便 。2)流量測(cè)量 范圍廣 。測(cè)量 的準(zhǔn)確性 可以 滿足 氣體 交易 交接 的要求 。

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便于 計(jì)量檢定 。 大多數(shù) 的檢定 方法 都是 幾何 檢定 ，方法 簡(jiǎn)單 ，成本 較低。 有些 供方 (或需方 )要求 在通過(guò) 幾何 法檢定 后，再用實(shí)流法進(jìn)行 一次 檢定 。 經(jīng)驗(yàn) 證，1套流量計(jì) 各環(huán)節(jié) 均合格 ，實(shí)流檢定 也能 合格 。5)價(jià)格 與科里奧利質(zhì)量流量計(jì) 相比 要便宜很多 。6)量程 比窄是孔板流量計(jì) 的一大 缺點(diǎn) ，但近幾年來(lái) ，雙量程 孔板流量計(jì) 的發(fā)展 ，可以 將量程 比擴(kuò)大 到33 倍，并達(dá)到 1.0 %的不確定度 ，彌補(bǔ) 了這一 缺陷 。在采用 差壓式流量計(jì) 測(cè)量 蒸汽流量時(shí)，必須 把氣相差 壓信號(hào) 轉(zhuǎn)化 為凝塊 。
并且 由于 高純氣體 無(wú)塵 、無(wú)水滴 、無(wú)油 污染 ，為高純氣體 的測(cè)量 創(chuàng)造 了優(yōu)越 的條件 。



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熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)采用熱擴(kuò)散原理，熱擴(kuò)散技術(shù)是一種在苛刻條件下性能優(yōu)良、可靠性高的技術(shù)。一個(gè)是速度傳感器，一個(gè)是自動(dòng)補(bǔ)償氣體溫度變化的溫度傳感器。當(dāng)兩個(gè)RTD被置于介質(zhì)中時(shí)，其中速度傳感器被加熱到環(huán)境溫度以上的一個(gè)恒定的溫度，另一個(gè)溫度傳感器用于感應(yīng)介質(zhì)溫度。

能源計(jì)量是科學(xué)管理能源，實(shí)現(xiàn)節(jié)能降耗，提高經(jīng)濟(jì)效益的重要手段。流量?jī)x表是能源計(jì)量?jī)x表的重要組成部分，水、人工燃?xì)狻?、蒸汽和油品這些常用的能源都使用著數(shù)量極其龐大的流量計(jì)，它們是能源管理和經(jīng)濟(jì)核算不可缺少的工具。

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流量計(jì)一般安裝在管道上，部分存在著拆卸不方便的情況，而且拆下送檢的時(shí)間會(huì)較長(zhǎng)，由此而提出了在線檢測(cè)的要求。

熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)大都采用開(kāi)路的負(fù)壓空氣標(biāo)定，然后修正到高壓力工況，或者修正到其他氣體，比如氣、二氧化碳、氧氣、氫氣、氨氣等等。修正標(biāo)定必然導(dǎo)致測(cè)量精度不能保證，低壓標(biāo)定后的表應(yīng)用在高壓工況，空氣介質(zhì)標(biāo)定后的表應(yīng)用在其他氣體介質(zhì)，測(cè)量精度無(wú)法保證。

被測(cè)量氣體組分變化較大的場(chǎng)所，因cp值和熱導(dǎo)率變化，測(cè)量值會(huì)有較大變化而產(chǎn)生誤差。

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對(duì)于熱分布式TMF，被測(cè)氣體若在管壁沉積垢層影響測(cè)量值，必須定期清洗；對(duì)細(xì)管型儀表更有易堵塞的缺點(diǎn)，一般情況下不能使用。

熱分布式 大部分熱分布式TMF的流量傳感器可任何姿勢(shì)（水平、 垂直或傾斜）安裝，有些儀表只要安裝好后在工作條件壓力、溫度下作電氣零點(diǎn)調(diào)整。然而有些型號(hào)儀表對(duì)安裝姿勢(shì)具有敏感性，大部分制造廠會(huì)對(duì)此就安裝姿勢(shì)影響和安裝要求作出說(shuō)明。例如LDG-□DB系列為減少環(huán)境氣氛對(duì)流傳熱影響，只能水平安裝，水平度允差±20。
然而在低流速測(cè)量時(shí)因受管道內(nèi)氣體對(duì)流的熱流影響，使安裝姿勢(shì)顯得重要。


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熱式流量?jī)x表用得利用流動(dòng)流體傳遞熱量改變測(cè)量管壁溫度分布的熱傳導(dǎo)分布效應(yīng)的熱分布式流量計(jì)曾稱量熱式;利用熱消散（冷卻）效應(yīng)的金氏定律。又由于結(jié)構(gòu)上檢測(cè)元件伸入測(cè)量管內(nèi)，也稱浸入型或侵入型有些在使用時(shí)從管外插入工藝管內(nèi)的儀表稱作插入式。

熱分布式 大部分熱分布式TMF的流量傳感器可任何姿勢(shì)（水平、 垂直或傾斜）安裝，有些儀表只要安裝好后在工作條件壓力、溫度下作電氣零點(diǎn)調(diào)整。
通過(guò)實(shí)時(shí)測(cè)量氣體帶走熱量H的大小來(lái)得到氣體的質(zhì)量流量，這就是目前市場(chǎng)上主流的恒溫差熱式。

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熱分布式TMF可測(cè)量低流速（氣體0.02~2m/s）微小流量；浸入式TMF可測(cè)量低~中偏高流速(氣體2~60m/s)，插入式TMF更適合于大管徑。熱分布式儀表用于H2 、N2 、O2、CO 、NO等接近理想氣體的雙原子氣體，不必用這些氣體專門(mén)標(biāo)定，直接就用空氣標(biāo)定的儀表，實(shí)驗(yàn)證明差別僅2%左右；用于Ar、He等單原子氣體則乘系數(shù)1.4即可；用于其他氣體可用比熱容換算，但偏差可能稍大些。氣體的比熱容會(huì)隨著壓力溫度而變，但在所使用的溫度壓力附近不大的變化可視為常數(shù)。熱式質(zhì)量流量計(jì)響應(yīng)慢。

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熱分布式儀表使用口徑和流量均較小，較多應(yīng)用于半導(dǎo)工業(yè)外延擴(kuò)散、石油化工微型反應(yīng)裝置、鍍膜工藝、光導(dǎo)纖維制造、熱處理淬火爐等各種場(chǎng)所的氫、氧、氨、燃?xì)獾葰怏w流量控制，以及固體致冷中固體蒸發(fā)等累積量和閥門(mén)制造中泄漏量的測(cè)量等。

通常在主流管道上裝孔板等節(jié)流裝置或均速管，分流部分氣體到流量傳感器進(jìn)行測(cè)量。然而在低流速測(cè)量時(shí)因受管道內(nèi)氣體對(duì)流的熱流影響，使安裝姿勢(shì)顯得重要。因此在低和非常低流速流動(dòng)時(shí)要獲得測(cè)量大部分制造廠會(huì)對(duì)此就安裝姿勢(shì)影響和安裝要求作出說(shuō)明。例如LDG-□DB系列為減少環(huán)境氣氛對(duì)流傳熱影響

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熱氣體質(zhì)量流量計(jì)是利用熱傳導(dǎo)原理測(cè)量流量的儀器。該儀器通過(guò)恒溫差停止測(cè)量氣體的質(zhì)量流量。因此介質(zhì)溫度與介質(zhì)的比熱是關(guān)鍵參數(shù)。流量計(jì)轉(zhuǎn)換器中儲(chǔ)存了60多種常規(guī)氣體比熱轉(zhuǎn)換系數(shù)，設(shè)置為基體單一潔凈氣體。但在現(xiàn)場(chǎng)實(shí)際測(cè)量中，介質(zhì)純度并不那么高。雖然流量計(jì)的設(shè)計(jì)精度沒(méi)有下降，但測(cè)量值可能與實(shí)際值有一定的偏差，這也是為什么熱氣體質(zhì)量流量計(jì)適合測(cè)量干氣體的原因；介質(zhì)溫度是熱氣體質(zhì)量流量計(jì)的一大難點(diǎn)。工作時(shí)，需要將加熱探頭加熱到比介質(zhì)溫度高50度的狀態(tài)。