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廣州蘇盈電子科技-質(zhì)量流量開關
高純 氣廣泛應用 于各行業(yè) 和工業(yè)生產(chǎn) 中，通常 用空氣分離工藝 來制取 ，用氣態(tài) 性高純氣體通過 管道 或鋼瓶 收集 容器 輸送 給用戶 ，用槽車 運輸 給用戶 。 對于 高純氣體 管道 輸送 工藝 ，貿(mào)易 轉換 計量 通常 采用 氣體流量計 ，其公稱 通徑 在50 毫米 至數(shù)百 毫米 之間 。 大多數(shù) 交接點 交接點 數(shù)量 大，結算 額高 ，往往 是由供需雙方 各裝一套 流量計 ，從而 做到 公平 計量 ，萬無一失 。
對于 高純氣體 流量計 的選擇 ，由于 測量 對象 的特點 和傳統(tǒng) 習慣 ，多選用 標準 孔板流量計 ，此類 流量計 有以下 特點 ：1)工作 穩(wěn)定 ，抗干擾能力 強，維修 更換 簡單 方便 。2)流量測量 范圍廣 。測量 的準確性 可以 滿足 氣體 交易 交接 的要求 。

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便于 計量檢定 。 大多數(shù) 的檢定 方法 都是 幾何 檢定 ，方法 簡單 ，成本 較低。 有些 供方 (或需方 )要求 在通過 幾何 法檢定 后，再用實流法進行 一次 檢定 。 經(jīng)驗 證，1套流量計 各環(huán)節(jié) 均合格 ，實流檢定 也能 合格 。5)價格 與科里奧利質(zhì)量流量計 相比 要便宜很多 。6)量程 比窄是孔板流量計 的一大 缺點 ，但近幾年來 ，雙量程 孔板流量計 的發(fā)展 ，可以 將量程 比擴大 到33 倍，并達到 1.0 %的不確定度 ，彌補 了這一 缺陷 。在采用 差壓式流量計 測量 蒸汽流量時，必須 把氣相差 壓信號 轉化 為凝塊 。
并且 由于 高純氣體 無塵 、無水滴 、無油 污染 ，為高純氣體 的測量 創(chuàng)造 了優(yōu)越 的條件 。



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熱式氣體質(zhì)量流量計采用熱擴散原理，熱擴散技術是一種在苛刻條件下性能優(yōu)良、可靠性高的技術。一個是速度傳感器，一個是自動補償氣體溫度變化的溫度傳感器。當兩個RTD被置于介質(zhì)中時，其中速度傳感器被加熱到環(huán)境溫度以上的一個恒定的溫度，另一個溫度傳感器用于感應介質(zhì)溫度。

能源計量是科學管理能源，實現(xiàn)節(jié)能降耗，提高經(jīng)濟效益的重要手段。流量儀表是能源計量儀表的重要組成部分，水、人工燃氣、、蒸汽和油品這些常用的能源都使用著數(shù)量極其龐大的流量計，它們是能源管理和經(jīng)濟核算不可缺少的工具。

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價格相較于科里奧利質(zhì)量流量計便宜很多。量程比窄是孔板流量計的一大缺點，但是近年來蓬勃發(fā)展雙量程孔板流量計，能將其量程比擴大到33倍，而且達到1.0％不確定度，從而彌補了該缺陷。高純氣體的純度極高，組分的變化完全可以忽略不計，因此，氣體的密度除了受溫度、壓力及壓縮系數(shù)影響之外，無其他因素。即使質(zhì)量流速低到0.1Nm/s都有很好的線性。此外還具有快速響應的能力。恒功率原理可以檢測較高的流速變化，在大流速應用場合有非常好的表現(xiàn)力，但低流速特性不如恒溫差，其次響應時間相對于恒溫差較差。

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熱式氣體質(zhì)量流量計大都采用開路的負壓空氣標定，然后修正到高壓力工況，或者修正到其他氣體，比如氣、二氧化碳、氧氣、氫氣、氨氣等等。修正標定必然導致測量精度不能保證，恒溫差原理具有非常好的的低流量特性，即使質(zhì)量流速低到0.1Nm/s都有很好的線性。此低壓標定后的表應用在高壓工況，空氣介質(zhì)標定后的表應用在其他氣體介質(zhì)，測量精度無法保證。然后修正到高壓力工況，或者修正到其他氣體，比如氣、二氧化碳、氧氣、氫氣、氨氣等等。

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浸入式 大部分浸入式TMF性能不受安裝姿勢影響。然而在低流速測量時因受管道內(nèi)氣體對流的熱流影響，使安裝姿勢顯得重要。因此在低和非常低流速流動時要獲得測量,熱氣體質(zhì)量流量計是一種用于測量各種氣體流量的儀器，不僅具有測量精度高、穩(wěn)定性好的優(yōu)點，而且在長期使用中可以提高企業(yè)的使用成本。使用空氣流量計時，通過過流式流量計推動渦輪葉片轉動。葉片轉速與流過空氣流量計的氣量成正比。流量計口安裝有一特殊設計的導流架，隨著流量的增大，對進入流量計的氣流進行加速。采用導向架可以消除渦流、非對稱流等潛在流體擾動。同時，推動渦輪葉片的動力增加。

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利用流動流體傳遞熱量改變測量管壁溫度分布的熱傳導分布效應的熱分布式流量計曾稱量熱式;2)利用熱消散（冷卻）效應的金氏定律。又由于結構上檢測元件伸入測量管內(nèi)，也稱浸入型或侵入型有些在使用時從管外插入工藝管內(nèi)的儀表稱作插入式。

TMF無活動部件，無分流管的熱分布式儀表無阻流件，壓力損失很??；帶分流管的熱分布式儀表和浸入性儀表，雖在測量管道中置有阻流件，但壓力損失也不大。

TMF使用性能相對可靠。與推導式質(zhì)量流量儀表相比，不需溫度傳感器，壓力傳感器和計算單元等，僅有流量傳感器，組成簡單，出現(xiàn)故障概率小。

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熱分布式儀表用于H2 、N2 、O2、CO 、NO等接近理想氣體的雙原子氣體，不必用這些氣體專門標定，直接就用空氣標定的儀表，實驗證明差別僅2%左右；用于Ar、He等單原子氣體則乘系數(shù)1.4即可,

熱式質(zhì)量流量計響應慢。

被測量氣體組分變化較大的場所，因cp值和熱導率變化，測量值會有較大變化而產(chǎn)生誤差。

對小流量而言，儀表會給被測氣體帶來相當熱量。

對于熱分布式TMF，被測氣體若在管壁沉積垢層影響測量值，必須定期清洗；對細管型儀表更有易堵塞的缺點，一般情況下不能使用。

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熱分布式儀表使用口徑和流量均較小，較多應用于半導工業(yè)外延擴散、石油化工微型反應裝置、鍍膜工藝、光導纖維制造、熱處理淬火爐等各種場所的氫、氧、氨、燃氣等氣體流量控制，適用的工業(yè)管徑范圍寬，可達3m，輸出信號與被測流量線性，精度高，可測量電導率≥1μs/cm的酸、堿、鹽溶液、水、污水、腐蝕性液體和泥漿、礦漿的流體流量。但是空氣流量計不能測量氣體、蒸汽和純凈水的流量。