伺服系統(tǒng)精度指伺服系統(tǒng)輸出量偏離輸入量的程度。伺服驅(qū)動器精度以動態(tài)誤差、穩(wěn)態(tài)誤差和靜態(tài)誤差三種形式表示。伺服系統(tǒng)允許的偏差一般都在0．01～0．001mm，高精度伺服系統(tǒng)的偏差可達到±0．0001一±0．00005mm。伺服系統(tǒng)對分辨率也有一定的要求，系統(tǒng)分辨率取決于系統(tǒng)穩(wěn)定工作性質(zhì)和所使用的位置檢測元件。目前的閉環(huán)伺服系統(tǒng)都能達到1um的分辨率，同時數(shù)控測量裝置的分辨率可達0.1um。伺服驅(qū)動器擁有的檢測裝置可以保證信號不失真。由于被控對象各不相同，伺服驅(qū)動器精度分類也就不同。比如在機床定位控制中，伺服系統(tǒng)精度主要是定位精度；液位控制系統(tǒng)中的液位精度；溫度控制系統(tǒng)中的溫度精度等。