粗糙度輪廓一次測量解決方案。
采用高剛性高精度免維護(hù)直線運(yùn)動導(dǎo)軌，精密控制系統(tǒng)。

項目規(guī)格  測量范圍  X軸  120-220mm可選  Z軸  420-620mm可選  Z1軸  ±10mm  Z1輪廓指示精度  ≤±（0.8+|0.15H|）μm  Z1粗糙度指示精度  ≤±（8nm+3.5%）

粗糙度輪廓一次測量解決方案。
采用高剛性高精度免維護(hù)直線運(yùn)動導(dǎo)軌，精密控制系統(tǒng)。


一體機(jī)具有傳統(tǒng)的粗糙度輪廓儀的優(yōu)勢




特點：
一次測量實現(xiàn)粗糙度、波紋度、輪廓分析
實現(xiàn)全范圍內(nèi)的粗糙度、波紋度測量

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