簡介：

真空泵機組：是東莞市豫德機電設(shè)備有限公司(簡稱“豫德真空”)近期推出的由真空泵、PLC程序控制系統(tǒng)、儲氣罐、真空管道、真空閥門、境外過濾總成等組成的成套真空泵機組。目前，該系統(tǒng)廣泛應(yīng)用于電子半導(dǎo)體業(yè)、光電背光模組、機械加工等行業(yè)。

豫德真空泵機組出廠時已經(jīng)包括了抽速控制、進氣過濾、主要運行數(shù)據(jù)顯示、運行保護及遠程控制接口等。只需現(xiàn)場進行簡單的連接電源和管道,即可組成一個完整的真空泵機組。該真空泵機組的控制系統(tǒng)由先進的PLC控制系統(tǒng)經(jīng)過編程后組成,以觸摸屏為人機界面,實現(xiàn)對真空泵機組、工件行走、磁控靶、工藝設(shè)定和執(zhí)行、報警保護系統(tǒng)等的全自動化控制。

特點：

真空泵機組自啟動后，全部運行過程可以實現(xiàn)全自動控制。在工作中，真空泵機組內(nèi)各處的真空度（即真空稀薄程度平均分布）始終在其允許范圍內(nèi)上下波動，其波動范圍可根據(jù)設(shè)備需求進行調(diào)整。使用螺桿真空泵、羅茨真空泵、旋片真空泵及水環(huán)真空泵真空泵機組能完全滿足流程工藝。

工作原理：

啟動系統(tǒng)，主真空泵組開始工作，直到真空罐內(nèi)真空度達到設(shè)定的上限值，真空泵自動停止運行，中央真空泵機組內(nèi)的真空由管路上的真空止回閥自動截止而得到維持。如因工作需求真空罐內(nèi)真空度下降并低于設(shè)定的下限值時，備用真空泵組自動啟動。由此循環(huán)往復(fù)，真空泵機組的真空度能夠維持穩(wěn)定的真空源，滿足生產(chǎn)的要求。