日本長(zhǎng)野計(jì)器NKS CB14半導(dǎo)體工業(yè)壓力開關(guān)CB14

半導(dǎo)體工業(yè)壓力開關(guān)

本儀器是專為半導(dǎo)體制造中不可缺少的各種氣體而開發(fā)的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單的小型輕量壓力開關(guān)，可直接安裝在設(shè)備上使用。
在制造過(guò)程中，仔細(xì)考慮清潔度和氣密性，氣體經(jīng)過(guò)嚴(yán)格的質(zhì)量控制和性能測(cè)試，因此適用于半導(dǎo)體工藝氣體。

特征

- 體積小、重量輕，適用于安裝空間受限的場(chǎng)所。
- 可以輕松設(shè)置壓力。
-由于該結(jié)構(gòu)不會(huì)對(duì)微動(dòng)開關(guān)施加額外的負(fù)載，因此可以進(jìn)行穩(wěn)定的控制。
-通過(guò)在潔凈工作臺(tái)（100級(jí)）和潔凈室進(jìn)行清潔和組裝來(lái)確保清潔度。此外，
我們進(jìn)行充分的脫脂和清潔，進(jìn)行無(wú)油無(wú)水處理*1，并在產(chǎn)品完成后實(shí)施無(wú)塵聚乙烯密封包裝
。
-隔膜式氣體接觸部分經(jīng)過(guò)電解拋光。