江西省心的自動(dòng)曬版機(jī)-廠家
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東莞市永祺機(jī)械設(shè)備有限公司
店齡6年 企業(yè)認(rèn)證
聯(lián)系人
劉永
聯(lián)系電話
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經(jīng)營(yíng)模式
生產(chǎn)廠家
所在地區(qū)
廣東省東莞市
江西省心的自動(dòng)曬版機(jī) 廠家
曝光機(jī)的主要性能指標(biāo)有:支持基片的尺寸范圍,分辨率、對(duì)準(zhǔn)精度、曝光方式、光源波長(zhǎng)、光強(qiáng)均勻性、生產(chǎn)效率等。 其中,分辨率是對(duì)光刻工藝加工可以達(dá)到的最細(xì)線條精度的一種描述方式,光刻的分辨率受受光源衍射的限制,所以與光源、光刻系統(tǒng)、光刻膠和工藝等各方面的限制。對(duì)準(zhǔn)精度是在多層曝光時(shí)層間圖案的定位精度。曝光方式分為接觸接近式、投影式和直寫式。曝光光源波長(zhǎng)分為紫外、深紫外和極紫外區(qū)域,光源有汞燈,準(zhǔn)分子激光器等