北京科創(chuàng)鼎新真空技術(shù)有限公司主營：氦檢漏設(shè)備,氦質(zhì)譜檢漏儀,LNG抽真空設(shè)備

氦氣檢漏的主要技術(shù)性能

1.真空箱尺寸根據(jù)電芯尺寸確定;

2.一般為三箱聯(lián)動系統(tǒng)，生產(chǎn)節(jié)拍可滿足單臺6PPM—12PPM；

3.開門方式，可根據(jù)用戶生產(chǎn)工藝要求來設(shè)計，一般為平開門式、滑臺合箱式；

4.上下料采用機械手或機器人，正常生產(chǎn)時設(shè)備無需人工操作；

5.系統(tǒng)配置二維碼掃描裝置，可將每個電芯的檢測數(shù)據(jù)對應(yīng)存儲；

6.具有清氦功能

7.具有氦氣回收功能（此功能可選）

8.自動判斷，并對應(yīng)放置（即不合格品放于不合格線，合格品放于合格線）

9.可通過觸摸屏設(shè)置不同等級密碼，更改設(shè)備參數(shù)；

10.人機交互界面，觸摸屏實時反映運行狀態(tài)和測試數(shù)據(jù)；

11.故障統(tǒng)計功能

12.系統(tǒng)采用配置和標(biāo)準(zhǔn)化設(shè)計制作，確保運行穩(wěn)定，性能可靠。

今天和大家分享的是氦氣檢漏的性能指標(biāo)，想了解更多產(chǎn)品信息您可撥打圖片上的電話進(jìn)行咨詢！

氦氣檢漏設(shè)備主要技術(shù)指標(biāo)

實際使用氦氣檢漏設(shè)備時，其較小可檢出泄漏率為5×10-13Pa·m3 / s； 泄漏率顯示的范圍為1×10-3—1×10-13Pa·m3 / s。; 啟動時間保持在小于等于3min的范圍內(nèi)； 響應(yīng)時間小于或等于1。0s; 檢漏口較大壓力：1000Pa； 電源需要220v，50Hz，單相，10A。

使用氦氣檢漏設(shè)備時，請注意其機械泵的抽速為4L / S； 工作環(huán)境要求為5-40℃； 應(yīng)注意相對濕度必須小于或等于80％; 尺寸：600（W）×550（D）×1000（H）; 通常重量將保持在65kg。 關(guān)于氦氣檢漏設(shè)備，應(yīng)注意其配備了標(biāo)準(zhǔn)氦氣檢漏裝置，包括更詳細(xì)的校準(zhǔn)報告。

氦質(zhì)譜檢漏儀的基本原理與結(jié)構(gòu)

氦質(zhì)譜檢漏儀一般由質(zhì)譜管,真空系統(tǒng)和電子系統(tǒng)組成。其中質(zhì)譜管包括離子源，質(zhì)量分析器和離子檢測器;真空系統(tǒng)-般由分子泵機械泵、電磁閥和真空計組成。離子源的作用是將原子電離成帶電離子并聚焦成束，以-定能量注入質(zhì)分析器，目前常用的電子轟擊型離子源有尼爾型和震蕩型兩種形式。質(zhì)分析器的作用起將各類離子按其質(zhì)荷比的不同實現(xiàn)分離。子檢測器的作用是手機質(zhì)星分析器所選定的氦離子流并加以放大，再通過比對運算，得出泄漏率

真空系統(tǒng)的作用是獲取質(zhì)譜過程所需的真空，同時完成被檢件的抽空和氦氣的引入?？障到y(tǒng)-般由分子泵、機械泵、電磁閥和真空計組成組成。按照真空系統(tǒng)的不同結(jié)構(gòu)，檢漏儀分為常規(guī)系統(tǒng)和逆擴散兩種。常規(guī)系統(tǒng)多用于早期的氦質(zhì)譜檢漏儀,該種檢漏儀的被檢件與高真空部分直接相通，由被檢件泄入的氮氣首先到達(dá)質(zhì)譜管被檢到，因而具有較高的靈敏度,但是會對質(zhì)譜管有污染。逆擴散系統(tǒng)檢漏儀與常規(guī)系統(tǒng)相比，被檢件只與低真空相通,因

此只需將被檢工件抽至低真空就能進(jìn)行檢漏，氦氣是逆擴散到質(zhì)譜管,不會對系統(tǒng)有污染,因此被廣泛采用,已成為市場的主品。

機械泵的工作方式不-樣,分為干泵檢漏儀和油泵檢漏儀，油泵工作會有油霧排出,污染工作環(huán)境，干泵沒有油霧排出對工作環(huán)境沒有影響。在半導(dǎo)體潔凈車間都是使用干泵檢漏儀。