特點(diǎn)：
  采用壓電致動(dòng)器的載荷裝置保證測(cè)量的精確度
  壓電致動(dòng)器作為壓痕測(cè)試的精密驅(qū)動(dòng)加載，可大行程壓痕驅(qū)動(dòng)
  在有隔振臺(tái)、無恒溫措施的實(shí)驗(yàn)環(huán)境下，壓痕測(cè)試模塊的載荷分辨率優(yōu)于100nN，位移分辨率為0.05nm
  壓痕測(cè)試模塊具有良好的重復(fù)性和測(cè)試精度
  載荷加載范圍大，可實(shí)現(xiàn)1N～50N載荷的加載
  配備控制主機(jī)，專用檢測(cè)控制系統(tǒng)與配套分析處理軟件
  軟件包括實(shí)時(shí)顯示測(cè)試過程中位移和載荷信號(hào)變化，并能夠從中提取信號(hào)波動(dòng)大小、顯示生成實(shí)驗(yàn)曲線等功能
  可測(cè)量壓入載荷-壓入深度曲線、材料硬度、彈性模量等基本參量

技術(shù)指標(biāo)：
  最大載荷力：5N、25N、50N（系列）
???????  載荷分辨率：100nN    
???????  試驗(yàn)力范圍：2% ～ 100% FS
???????  力測(cè)量精度：±1%
???????  最大壓痕深度：500μm、毫米級(jí)（系列）
???????  位移分辨率：0.05nm
???????  樣品尺寸：毫米級(jí)