特點：
  采用壓電致動器的載荷裝置保證測量的精確度
  壓電致動器作為壓痕測試的精密驅(qū)動加載，可大行程壓痕驅(qū)動
  在有隔振臺、無恒溫措施的實驗環(huán)境下，壓痕測試模塊的載荷分辨率優(yōu)于100nN，位移分辨率為0.05nm
  壓痕測試模塊具有良好的重復(fù)性和測試精度
  載荷加載范圍大，可實現(xiàn)1N～50N載荷的加載
  配備控制主機，專用檢測控制系統(tǒng)與配套分析處理軟件
  軟件包括實時顯示測試過程中位移和載荷信號變化，并能夠從中提取信號波動大小、顯示生成實驗曲線等功能
  可測量壓入載荷-壓入深度曲線、材料硬度、彈性模量等基本參量

技術(shù)指標：
  最大載荷力：5N、25N、50N（系列）
???????  載荷分辨率：100nN    
???????  試驗力范圍：2% ～ 100% FS
???????  力測量精度：±1%
???????  最大壓痕深度：500μm、毫米級（系列）
???????  位移分辨率：0.05nm
???????  樣品尺寸：毫米級