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廣州蘇盈電子科技-MEMS流量測(cè)量

熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)恒溫差測(cè)量中心點(diǎn)是保證兩個(gè)探頭之間的溫度恒定，介質(zhì)的攜熱(流速)與加熱所需的供電電流成正比，因此介質(zhì)溫度與介質(zhì)的比熱是關(guān)鍵參數(shù)。流量計(jì)轉(zhuǎn)換器中儲(chǔ)存了60多種常規(guī)氣體比熱轉(zhuǎn)換系數(shù)，設(shè)置為基體單一潔凈氣體。

是將標(biāo)準(zhǔn)孔板與多參數(shù)差壓變送器（或差壓變送器、溫度變送器及壓變送器）配套組成的高量程比差壓流量裝置，可測(cè)量氣體、蒸汽、液體及的流量，廣泛應(yīng)用于石油、化工、冶金、電力、供熱、供水等領(lǐng)域的過程控制和測(cè)量。

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具有度高、長(zhǎng)期精度穩(wěn)定、重復(fù)性好，受安裝條件局限小、耐磨損、測(cè)量范圍度寬、適合臟污介質(zhì)、壓力損失小、使用壽命長(zhǎng)等特點(diǎn)。可以廣泛應(yīng)用于各種領(lǐng)域，因此可靠性高,維護(hù)量小。儀表參數(shù)能長(zhǎng)期穩(wěn)定。本儀表采用壓電應(yīng)力式傳感器,可靠性高,可在-20℃～+250℃的工作溫度范圍內(nèi)工作。有模擬標(biāo)準(zhǔn)信號(hào),也有數(shù)字脈沖信號(hào)輸出,容易與計(jì)算機(jī)等數(shù)字系統(tǒng)配套使用,是一種比較先進(jìn)、理想的流量?jī)x表。

熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)是利用傳熱原理檢測(cè)流量的儀表，熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)有一體式和插入式兩種規(guī)格。

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熱式質(zhì)量流量計(jì)無(wú)活動(dòng)部件，而且性能相對(duì)可靠，管道式流量計(jì)比插入式的精度要相對(duì)更高一些，目前大部分熱式質(zhì)量流量計(jì)都是用來(lái)測(cè)量氣體，只有少量用于測(cè)量微小液體的流量。對(duì)小流量而言，儀表會(huì)給被測(cè)氣體帶來(lái)相當(dāng)熱量。

對(duì)于熱分布式TMF，被測(cè)氣體若在管壁沉積垢層影響測(cè)量值，必須定期清洗；對(duì)細(xì)管型儀表更有易堵塞的缺點(diǎn)，一般情況下不能使用。熱氣體質(zhì)量流量計(jì)有很多優(yōu)點(diǎn)。畢竟它們的體積比較小，裝置也很方便，測(cè)量也很準(zhǔn)確。

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熱式質(zhì)量流量計(jì)測(cè)量氣體時(shí)，流體溫度的變化不像體積流量計(jì)隨氣體體積的變化而變化，不影響熱式質(zhì)量流量計(jì)的測(cè)量。

質(zhì)量互變規(guī)律是事物發(fā)展的基本規(guī)律，因此其測(cè)量對(duì)象已不局限于傳統(tǒng)意義上的液體管道，凡需掌握量變的地方，都存在流量測(cè)量的問題。流速、壓力、溫度均列為三大檢測(cè)參數(shù)。當(dāng)兩個(gè)溫度傳感器放置在測(cè)量氣流中時(shí)，一個(gè)溫度傳感器用來(lái)感應(yīng)氣流的溫度，另一個(gè)傳感器加熱到高于測(cè)量的氣體溫度。氣量增加了，加熱傳感器被帶走的熱量也增加了。

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能源分為一次能源（煤炭、、煤層氣、和）、二次能源（電力、焦炭、人工燃?xì)狻⒊善酚?、、蒸汽）及載能工質(zhì)（壓縮空氣、氧、氮、氫、水）等。能源計(jì)量是科學(xué)管理能源，實(shí)現(xiàn)節(jié)能降耗，提高經(jīng)濟(jì)效益的重要手段。其次要對(duì)介質(zhì)的物理性質(zhì)和化學(xué)性質(zhì)有充分認(rèn)識(shí)，再次對(duì)安裝現(xiàn)場(chǎng)的工藝條件和環(huán)境有充分認(rèn)識(shí)，，還要知道用戶對(duì)流量計(jì)測(cè)量精度要求，考慮介質(zhì)流量是不是滿足流量計(jì)的流量范圍要求，安裝現(xiàn)場(chǎng)是不是滿足流量計(jì)的現(xiàn)場(chǎng)安裝要求，還要考慮有哪些情況和因素會(huì)影響流量計(jì)的計(jì)量。





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熱式質(zhì)量流量計(jì)一般在測(cè)量氣體的時(shí)候必須是干燥的氣體，不能含有濕氣，流體的可能產(chǎn)生的沉積，結(jié)垢以及凝結(jié)物均將影響儀表的性能，熱式質(zhì)量流量計(jì)在測(cè)量氣體時(shí)流體溫度的變化也不像體積流量?jī)x表隨氣體體積變化所改變，這對(duì)于熱式并不影響質(zhì)量流量計(jì)的測(cè)量。穩(wěn)定性和可靠性高，抗干擾能力強(qiáng)，維護(hù)和更換簡(jiǎn)單、方便。流量測(cè)量范圍寬。測(cè)量準(zhǔn)確度能滿足氣體貿(mào)易交接的需要。計(jì)量檢定方便。大多采用幾何檢定法進(jìn)行檢定，操作簡(jiǎn)單而且費(fèi)用較省。有的供方（或需方）要求在經(jīng)過幾何法檢定之后，再用實(shí)流檢定法檢定一次。實(shí)踐證明，如果１套流量計(jì)的各個(gè)環(huán)節(jié)都是合格的，則實(shí)流檢定結(jié)果也會(huì)是合格的。

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利用流動(dòng)流體傳遞熱量改變測(cè)量管壁溫度分布的熱傳導(dǎo)分布效應(yīng)的熱分布式流量計(jì)曾稱量熱式;2)利用熱消散（冷卻）效應(yīng)的金氏定律。又由于結(jié)構(gòu)上檢測(cè)元件伸入測(cè)量管內(nèi)，也稱浸入型或侵入型有些在使用時(shí)從管外插入工藝管內(nèi)的儀表稱作插入式。

TMF無(wú)活動(dòng)部件，無(wú)分流管的熱分布式儀表無(wú)阻流件，壓力損失很??；帶分流管的熱分布式儀表和浸入性儀表，雖在測(cè)量管道中置有阻流件，但壓力損失也不大。

TMF使用性能相對(duì)可靠。與推導(dǎo)式質(zhì)量流量?jī)x表相比，不需溫度傳感器，壓力傳感器和計(jì)算單元等，僅有流量傳感器，組成簡(jiǎn)單，出現(xiàn)故障概率小。

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熱分布式儀表用于H2 、N2 、O2、CO 、NO等接近理想氣體的雙原子氣體，不必用這些氣體專門標(biāo)定，直接就用空氣標(biāo)定的儀表，實(shí)驗(yàn)證明差別僅2%左右；用于Ar、He等單原子氣體則乘系數(shù)1.4即可,

熱式質(zhì)量流量計(jì)響應(yīng)慢。

被測(cè)量氣體組分變化較大的場(chǎng)所，因cp值和熱導(dǎo)率變化，測(cè)量值會(huì)有較大變化而產(chǎn)生誤差。

對(duì)小流量而言，儀表會(huì)給被測(cè)氣體帶來(lái)相當(dāng)熱量。

對(duì)于熱分布式TMF，被測(cè)氣體若在管壁沉積垢層影響測(cè)量值，必須定期清洗；對(duì)細(xì)管型儀表更有易堵塞的缺點(diǎn)，一般情況下不能使用。

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熱分布式儀表使用口徑和流量均較小，較多應(yīng)用于半導(dǎo)工業(yè)外延擴(kuò)散、石油化工微型反應(yīng)裝置、鍍膜工藝、光導(dǎo)纖維制造、熱處理淬火爐等各種場(chǎng)所的氫、氧、氨、燃?xì)獾葰怏w流量控制，適用的工業(yè)管徑范圍寬，可達(dá)3m，輸出信號(hào)與被測(cè)流量線性，精度高，可測(cè)量電導(dǎo)率≥1μs/cm的酸、堿、鹽溶液、水、污水、腐蝕性液體和泥漿、礦漿的流體流量。但是空氣流量計(jì)不能測(cè)量氣體、蒸汽和純凈水的流量。