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氦質(zhì)譜檢漏儀常用檢漏方法及標(biāo)準(zhǔn)

氦質(zhì)譜檢漏法是利用氦質(zhì)譜檢漏儀的氦分壓力測(cè)量原理，實(shí)現(xiàn)被檢件的氦泄漏量測(cè)量。當(dāng)被檢件密封面上存在漏孔時(shí)，示漏氣體氦氣及其它成分的氣體均會(huì)從漏孔泄出，泄漏出來的氣體進(jìn)入氦質(zhì)譜檢漏儀后，由于氦質(zhì)譜檢漏儀的選擇性識(shí)別能力，僅給出氣體中的氦氣分壓力信號(hào)值。在獲得氦氣信號(hào)值的基礎(chǔ)上，通過標(biāo)準(zhǔn)漏孔比對(duì)的方法就可以獲得漏孔對(duì)氦泄漏量。

根據(jù)檢漏過程中的示漏氣體存貯位置與被檢件的關(guān)系不同，可以將氦質(zhì)譜檢漏法分為真空法、正壓法、真空壓力法和背壓法，下面分別總結(jié)了這四種氦質(zhì)譜檢漏法的檢測(cè)原理、優(yōu)缺點(diǎn)及檢測(cè)的標(biāo)準(zhǔn)。

真空法氦質(zhì)譜檢漏

采用真空法檢漏時(shí)，需要利用輔助真空泵或檢漏儀對(duì)被檢產(chǎn)品內(nèi)部密封室抽真空，采用氦罩或噴吹的方法在被檢產(chǎn)品外表面施氦氣，當(dāng)被檢產(chǎn)品表面有漏孔時(shí)，氦氣就會(huì)通過漏孔進(jìn)入被檢產(chǎn)品內(nèi)部，再進(jìn)入氦質(zhì)譜檢漏儀，從而實(shí)現(xiàn)被檢產(chǎn)品泄漏量測(cè)量。按照施漏氣體方法的不同，又可以將真空法分為真空噴吹法和真空氦罩法。其中真空噴吹法采用噴槍的方式向被檢產(chǎn)品外表面噴吹氦氣，可以實(shí)現(xiàn)漏孔的準(zhǔn)確定位; 真空氦罩法采用有一定密閉功能的氦罩將被檢產(chǎn)品全部罩起來，在罩內(nèi)充滿一定濃度的氦氣，可以實(shí)現(xiàn)被檢產(chǎn)品總漏率的測(cè)量。

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氦質(zhì)譜檢漏儀

吸槍法

吸槍法是先向壓力容器裝置中充入一個(gè)以上的大氣壓的氦氣或氦氣與其他氣體的混合氣，從壓力容器裝置的外部檢測(cè)從漏孔泄漏到外部的氦氣，進(jìn)而發(fā)現(xiàn)漏孔。

吸槍法（正壓法）檢漏，用純氦檢時(shí)，可使用氦氣回收裝置，重復(fù)使用，以降低使用成本。或使用濃度不低于5~10%的氦氣混合氣體，使用完后，可直接向大氣中排放，要注意周圍環(huán)境中的氦氣的濃度，注意周圍環(huán)境中空氣的流動(dòng)情況，因?yàn)檫@會(huì)影響到吸槍法的檢測(cè)精度。吸槍法（正壓法）檢漏與鹵素檢漏極為相似，但應(yīng)注意的是容器內(nèi)所充的示蹤氣體是不同的，即使有相同的漏率值，其意義也是不同的，能夠區(qū)分這一點(diǎn)很重要。除實(shí)驗(yàn)測(cè)試比較法以外另有計(jì)算式Q1η1= Q2η2（Q為氣體的泄漏流量，η為氣體的粘度系數(shù)），Q1M11/2= Q2M21/2（M為氣體的分子量）。吸槍法檢漏中應(yīng)注意以下幾個(gè)問題：

1、靈敏度受連接管道的流導(dǎo)的限制。

2、初次檢漏時(shí)、被檢件體內(nèi)切勿充入過高壓力的氦氣。因?yàn)槿绻新┛?，氦氣?huì)從被檢件物中漏出，造成較大浪費(fèi)，而且氦氣到處擴(kuò)散，給檢漏儀帶來非常大的干擾。因此，一般應(yīng)先向被檢件物內(nèi)充以低壓力、低濃度的氦氣，再充入高壓力，高濃度的氦氣，對(duì)小漏孔進(jìn)行檢漏。如果存在較大漏孔時(shí)，可對(duì)檢件體先進(jìn)行加壓水中發(fā)泡法檢大漏，這樣既可以減少氦氣的浪費(fèi)，因?yàn)楹廨^貴（不同濃度的價(jià)格也不同），又可避免對(duì)氦檢漏儀的氦的損害。